Построена последовательная самосогласованная модель ВЧ разряда в электроотрицательных газах на основе совместного решения уравнения Больцмана для функции распределения электронов в переменном пространственно неоднородном поле, диффузионно-дрейфовых уравнений для концентрации различных компонент плазмы и уравнения для определения электрического поля разряда. Проанализировано влияние пространственной нелокальности энергетического спектра на параметры плазмы ВЧ разряда.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.