Экспериментально показано повышение чувствительности метода плосковолновой рентгеновской топографии при съемке микродефектов в кристаллах кремния с использованием асимметричных отражений в геометрии Лауэ и Брэгга. Исследованы возможности метода в зависимости от степени асимметричности отражений. Обсуждаются причины, которые могут приводить к повышению чувствительности метода, главными из которых являются уменьшение длины экстинкции и релаксация полей деформации, создаваемых микродефектами, на поверхности образца.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.