Выращивание кристаллов способом Чохральского с оценкой вектора состояния объекта управления
Россоленко С.Н., Петьков И.С., Курлов В.Н., Редькин Б.С.
Выставление онлайн: 19 апреля 1992 г.
Рассматривается система управления процессом роста, предназначенная для установок, оснащенных датчиком веса. На основе решения уравнения наблюдения датчика веса в процессе роста находятся реальные значения радиуса кристалла и высоты жидкого мениска. Проведена экспериментальная проверка предложенного метода вычисления вектора состояния. Разработанный метод успешно использовался в системе управления выращиванием кристаллов ниобата лития (диаметром 80 мм) и молибдата гадолиния (30 мм).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.