Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2014, выпуск 5 » Статья стр. 71
<<<>>>
Структурно-фазовые превращения в многослойной пленочной системе C/Si при отжиге
Журавель И.А.1, Бугаев Е.А.1, Конотопский Л.Е.1, Севрюкова В.А.1, Зубарев Е.Н.1, Кондратенко В.В.1
1Харьковский политехнический институт, Харьков, Украина
Email: igor_zhuravel@mail.ru
Поступила в редакцию: 19 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.
PDF версия
Методами малоугловой рентгеновской дифракции и просвечивающей электронной микроскопии поперечных срезов изучена эволюция структуры многослойных периодических композиций C/Si. На межслоевых границах C/Si и Si/C в исходном состоянии обнаружены перемешанные зоны различной плотности толщиной 0.6-0.65 nm. Исследовано влияние отжига на толщину, плотность и фазовый состав слоев и перемешанных зон в диапазоне температур 300-1050oC. Установлены две стадии изменения периода многослойной композиции при нагреве. При температурах до 700oC происходит увеличение периода, при дальнейшем нагреве период уменьшается. Разрушение композиции начинается со слоев кремния, в которых формируются поры и нанокристаллы кубического 3C-SiC при 900oC. Полное разрушение слоистой структуры композиции происходит при T>1000oC.
  1. Spiller E. Soft X-ray Optics. Washington: SPIE Optical Engineering Press, 1994. 278 p
  2. Brian W.J. McNeil, Neil R. Thompson // Nature Photonics. 2010. Vol. 4. P. 814--821
  3. Popmintchev T., Chen M.-C., Arpin P., Murnane M.M., Kapteyn H.C. // Nature Photonics. 2010. Vol. 4. P. 822--832
  4. Urbanski L., Marconi M.C., Meng L.M., Berrill M., Guilbaud O., Klisnick A., Rocca J.J. // Phys. Rev. 2012. Vol. 85. P. 033 837 (1--6)
  5. Pershyn Y.P., Zubarev E.N., Voronov D.L., Sevryukova V.A., Kondratenko V.V., Vaschenko G., Grisham M., Menoni C.S., Rocca J.J., Artioukov I.A., Uspenskii Y.A., Vinogradov A.V. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. Vol. 42. P. 125 407 (1--11)
  6. Modi M.H., Rai S.K., Idir M., Schaefers F., Lodha G.S. // Opt. Express. 2012. Vol. 20. N 14. P. 15 114--12 120
  7. Louis E., Yakshin A.E., Tsarfati T., Bijkerk F. // Progr. Surf. Sci. 2011. Vol. 86. P. 255--294
  8. Бейгман И.Л., Боженков С.А., Житник И.А., Кузин С.В., Толстихина И.Ю., Урнов А.М. // Письма в астроном. журн. 2005. Т. 31. N 1. C. 39--58
  9. Шестов С.В., Боженков С.А., Житник И.А., Кузин С.В., Урнов А.М., Бейгман И.Л., Горяев Ф.Ф., Толстихина И.Ю. // Письма в астроном. журн. 2008. Т. 34. N 1. C. 38--57
  10. Berghmansa D., Hochedeza J.F., Defiseb J.M., Lecatb J.H., Niculaa B., Slemzine V., Lawrencea G., Katsyiannisa A.C., Van der Lindena R., Zhukova A., Clettea F., Rochusb P., Mazyb E., Thibertb T., Nicolosic P., Pelizzoc M-G., Schuhled. U. // Advan. Spac. Res. 2006. Vol. 38. N 8. P. 1807--1811
  11. Frassetto F., Garoli D., Monaco G., Nicolosi P., Pascolini M., Pelizzo M.G., Mattarello V., Patelli A., Rigato V., Giglia A., Nannarone S., Antonucci E., Fineschi S., Romoli M. // Proc. SPIE. 2005. Vol. 5901. P. 59010L1--59010L12
  12. Windt D.L., Donguy S., Seely J., Kjornrattanawanich B. // Appl. Opt. 2004. Vol. 43. N 9. P. 1835--1848
  13. Zhu J., Wang Z., Zhang Z., Wang F., Wang H., Wu W., Zhang S., Xu D., Chen L., Zhou H., Huo T., Cui M., Zhao Y. // Appl. Opt. 2008. Vol. 47. N 13. P. 310--314
  14. Penkov O.V., Bugayev Ye.A., Zhuravel I., Kondratenko V.V., Amanov A., Kim D.-E. // Tribol. Lett. 2012. Vol. 48. P. 123--131
  15. Woo Y., Kim S.-H. // J. Mechanic. Sci. Technol. 2011. Vol. 25. P. 1017-1022
  16. Sung I.-H., Kim D.-E. // Tribol. Lett. 2004. Vol. 17. N 4. P. 835--844
  17. Riviere J.P., Zaytouni M., Denanot M.F., Allain J. et al. // Mater. Sci. Engineer. B. 1995. Vol. 29. N 1--3. P. 105--109
  18. Chung C.K., Lai C.W., Peng C.C., Wu B.H. // Th. Sol. Film 2008. Vol. 517. N 3. P. 1101--1105
  19. Chung C.K., Chen T.Y., Lai C.W. // J. Nanoparticle Research. 2011. Vol. 13. N 10. P. 4821--4828
  20. Attwood D.T., Henke B.L. // Low energy X-ray diagnostics. AIP Conf. Proceedings. 1981. Vol. 75. P. 280--285
  21. Barbee T.W. // Opt. Engineering. 1986. Vol. 25. P. 899--915
  22. Jackson J.D. Classical electrodynamics, 2nd edn. N Y: John Wiley and Sons, 1975. 880 p
  23. Grigonis M., Knystautas E.J. // Appl. Opt. 1997. Vol. 36. N 13. P. 2839--2842.
  24. Hansen M., Anderko K. Constitution of binary alloys. N Y: McGraw-Hill, 1991. 1305 p
  25. Зубарев Е.Н. // УФН. 2011. Т. 181. N 5. С. 491--520
  26. Девизенко А.Ю., Бугаев Е.А., Кондратенко В.В., Зубарев Е.Н., Воронов Д.Л., Копылец И.А. // Сб. тр. Харьковской нанотехнологической Ассамблеи. Харьков, 2006. Т. 2. С. 100--105
  27. Chung C.K., Wu B.H. // Th. Sol. Film. 2006. Vol. 515. P. 1985-1991.
  28. Voronov D.L., Zubarev E.N., Kondratenko V.V., Pershin Yu.P., Sevryukova V.A., Bugayev Ye.A. // Th. Sol. Film. 2006. Vol. 513. N 1--2. P. 152--158
  29. Graul J., Wagner E. // Appl. Phys. Lett. 1972. Vol. 27. N 2. P. 67--69
  30. Кондратенко В.В. // Функциональные материалы. 1997. Т. 4. N 4. С. 481--486
  31. Бугаев Е.А., Зубарев Е.Н., Кондратенко В.В., Федоренко А.И. // Национальная конф. по применению рентгеновского и синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов. Дубна, 1997. Т. 2. С. 268--274
  32. Charai A., Boulesteix C. // Phys. Stat. Sol. A. 1983. Vol. 80. N 4. P. 333--341
  33. Scholz R., Gosele U., Niemann E., Wischmeyer F. // Appl. Phys. A. 1997. Vol. 64. P. 115--125
  34. Jinschek J., Kaiser U., Richter W. // J. Electr. Microscopy. 2001. Vol. 50. N 1. P. 3--8
  35. Kim K.C., Park C.I., Roh J.I., Nahm K.S., Seo Y.H. // J. Vacuum Sci. Technol. A. 2001. Vol. 19. P. 2636--2642
  36. Chung C.K., Chen T.Y., Lai C.W. // Scripta Materialia. 2011. Vol. 65. P. 432--435.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme