Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2014, выпуск 5 » Статья стр. 109
<<<>>>
Эллипсометрическая методика определения показателя поглощения полупроводниковых нанослоев in situ
Косырев Н.Н., Швец В.А., Михайлов Н.Н., Варнаков С.Н., Овчинников С.Г., Рыхлицкий С.В., Яковлев И.А.1
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
Поступила в редакцию: 7 июня 2013 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.
PDF версия
Разработан и реализован алгоритм, позволяющий на основании однозонных эллипсометрических измерений в процессе роста тонких полупроводниковых пленок решать обратную задачу эллипсометрии с целью определения показателя поглощения. Методика основана на анализе изменения эллипсометрических параметров Psi и Delta непосредственно в процессе роста. Апробация алгоритма проведена в процессе синтеза структур Si/SiO2/Si(100) и Hg1-xCdxTe.
  1. Асеев А.Л. // Российские нанотехнологии. 2006. Т. 1. N 1.2. C. 97
  2. Varnakov S.N., Komogortsev S.V., Ovchinnikov S.G. et al. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 094 703
  3. Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с
  4. Fujiwara H. Spectroscopic Ellipsometry. Principles and Application. Wiley, 2007. 369 p
  5. Aspenes D.E. // Thin. Sol. Films. 1993. Vol. 233. P. 1--8
  6. Сухорукова М.В., Скороходова И.А., Хвостиков В.П. // ФТП. 2000. Т. 34. Вып. 1. С. 57
  7. Ястребов С.Г., Гордеев С.К., Гаррига М. и др. // ФТП. 2006. Т. 40. Вып. 7. С. 850
  8. Швец В.А., Михайлов Н.Н., Дворецкий С.А. // Автометрия. 2011. Т. 47. N 5. С. 13--24
  9. Duncan W.M., Henck S.A., Kuehne J.W. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1994. Vol. 12. N 4. P. 2779
  10. Варнаков С.Н., Комогорцев С.В., Bartolome J. и др. // Физика металлов и металловедение. 2008. Т. 106. N 1. С. 54--58
  11. Shvets V.A., Chikichev S.I., Pridachin D.N. et al. // Thin Sol. Films. 1998. Vol. 313--314. P. 561--564
  12. Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В. // Опт. и спектр. 2004. Т. 97. N 3. С. 514--525
  13. Швец В.А., Дворецкий С.А., Михайлов Н.Н. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 11. С. 41--44
  14. Volkov N.V., Tarasov A.S., Eremin E.V. et al. // J. Appl. Phys. 2011. Vol. 109. P. 123 924
  15. Варнаков С.Н., Лепешев А.А., Овчинников С.Г. и др. // ПТЭ. 2004. N 6. С. 125--129
  16. Пат. РФ N 2302623. Эллипсометр. / Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, В.А. Швец. 2007. Бюл. N 19
  17. Aspnes D.E., Studna A.A. // Phys. Rev. B. 1983. Vol. 27. N 2. P. 985--1010

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme