Оптические, структурные и фотокаталитические свойства наноразмерных пленок диоксида титана, осажденных в плазме магнетронного разряда
Гончаров А.А., Добровольский А.Н., Костин Е.Г., Петрик И.С., Фролова Е.К.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 27 августа 2012 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2014 г.
Найдены и описаны условия оптимального и контролируемого осаждения нанослоев диоксида титана в плазме цилиндрического газового разряда магнетронного типа специальной конструкции. Характеризация полученных пленок методом рамановской спектроскопии позволила определить режимы осаждения аморфной и поликристаллической фаз диоксида титана. Пленки, синтезированные путем осаждения на холодную подложку, находятся в аморнфной фазе, а на подогретую - в фазе поликристаллического анатаза. Установлены особенности в эволюции спектральных линий излучения аргона, кислорода, титана и падения разрядного напряжения от величины и направления изменения тока разряда. Показана применимость полученных результатов для бесконтактного оптического мониторинга. Характеризация пленок показывает существование нелинейной зависимости показателя преломления от толщины слоя и возможность получения слоев с высокой фотокаталитической активностью, пригодных для очистки окружающей среды от неорганических загрязнителей.
- Гончаров А.А., Евсюков А.Н., Костин С.Г., Стеценко Б.В., Фролова Е.К., Щуренко А.И. // ЖТФ. 2010. Т. 8. Вып. 8. С. 127-135
- Блонский И.В., Гончаров А.А., Демчишин А.В., Евсюков А.Н., Костин Е.Г., Сальников В.А., Терещенко А.Г., Ткаченко Л.Н. // ЖТФ. 2009. Т. 29. Вып. 7. С. 127-132
- Han Y.H., Jung S.J., Lee J.J. // Surf. Coat. Technol. 2007. Vol. 201. P. 5387-5391
- Hashimoto S., Tanaka A. // Europ. Conf. on Application of Surf. and Interface Analysis. Avignon, France, 2002. Vol. 34. N 1. P. 262-265
- Ellmer K., Mientus R. // Proc. 11th Conf. on High Vacuum, Interfaces and Thin Films. Germany, Dresden, 1994
- Gonzalez R.J. Ph. O. Thesis. Virginia: Polytechnic Institute and State University, 1996. 212 p
- Romanian Database of Raman Spectroscopy. http://rdrs.uaic.ru/minerals/anatase.html. Anatase Raman spectra. P. 1
- Ohsaka T., Izumi F., Fujiki Y. // J. Raman. Spectrosc. 1978. Vol. 7. P. 321
- Choi H.C., Jung Y.M., Kim S.B. // Vibrational Spectrosc. 2005. Vol. 37. N 1. P. 33-38
- Zhu K.R., Zhang M.S., Chen Q., Yin Z. // Phys. Lett. A. 2005. Vol. 340. N 1-4, P. 220-227
- Li Y., Duan Y., Li W. [Article in Chinese] // Journ. "Guang Pu Xue Yu Guang Pu Fen Xi". 2000. P. 699-701. Institute of Rock and Mineral Analysis. Chinese Academy of Geological Sci. Beijing
- Fernandez-Garcia M., Martinez-Arias A., Hanson J.C., Rodriguez J.A. // Chem. Rev. 2004. Vol. 104. N 9. P. 4063-4104
- Sahoo S., Arora A.K., Sridharan V. // J. Phys. Chem. C. 2009. Vol. 113. P. 16 927-16 933
- Salis P.C., Anedda A. // The Open Condesed Matter Phys. J. 2009. Vol. 2. P. 15-18
- Taylor D.J., Fleig P.F., Heitala S.L. // Thin Solid Films. 1998. Vol. 332. P. 257
- Voldas B.E. // Appl. Opt. 1980. Vol. 19. P. 1425
- Born M., Wolf E. Principles of Optics. Oxford: Pergamon Press, 1999. 986 p
- Петрик И.С., Келип А.А., Воробец В.С., Смирнова Н.П., Фролова Е.К., Оранская Е.И., Колбасов Г.Я., Еременко А.М. // Химия, физика и технология поверхности. 2011. Т. 2. N 4. C. 436-443.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.