Электронное зеркало как корректор аберраций объектива электронного микроскопа
Якушев Е.М.1, Алдияров Н.У.1
1Институт ядерной физики Алматы, Казахстан
Email: nahip@inp.kz
Поступила в редакцию: 26 июня 2013 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2014 г.
Описана новая электронно-оптическая система коррекции аберраций объективной линзы с помощью электронного зеркала. Система основана на реализации специального режима фокусировки - так называемого режима наложенных изображений, при котором в плоскости, проходящей через центр кривизны электронного зеркала, формируются два изображения объекта: одно из них образовано исходящими от объективной линзы лучами - с аберрациями, второе образовано отраженными от зеркала лучами - с устраненными аберрациями. Разделение двух наложенных изображений и визуализация очищенного от аберраций изображения осуществляется путем отклонения электронного пучка в осесимметричном магнитном поле, ось симметрии которого проходит через центр кривизны электронного зеркала. Рассчитано распределение магнитного поля, обеспечивающее безаберрационное отклонение электронного пучка.
- Hawkes P.W., Kasper E. Principles of Electron Optics. Academic Press. 1989. 559 p
- Овсянникова Л.П., Фишкова Т.Я. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 5. С. 96--102
- Preikszas D., Rose H. // J. Elect. Microsc. 1997. Vol. 46. N 1. P. (1--9)
- Rempfer G.F. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 67. N 10. P. 6027--6041
- Rose H., Wan W. Proc. IEEE. Particle Accel. Conf. Knoxville, Tennessee, 2005. P 44--48
- Wan W., Feng J., Padmore H.A., Robin D.C. Nucl. Instrum. Meth. A. 2004. Vol. 519. N 1--2. P. 222--229
- Zhukov V.A., Zav'yalova A.V. // Russian Microelectronics. 2006. Vol. 35. P. 372--381
- Якушев Е.М., Бимурзаев С.Б. Патент Р.К. N 75 950, 2011
- Yakushev E.M. // Adv. Imag. Elect. Phys. 2013. Vol. 178. P. 147--247
- Кельман В.М., Явор С.Я. Электронная оптика. М.-Л.: АН СССР. 1963. 2-е изд. 367 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук