Экспериментально исследовался разлет в вакуум плазмы, образующейся при воздействии излучения ХеСl^* лазера на твердую мишень. Определен энергетический состав продуктов эрозии Al, Ti, Cu, W и GaAs в диапазоне лазерных интенсивностей q~0.1-1 ГВт/см². На основании сравнения полученных результатов с данными, известными для ИК диапазона облучения мишеней, показана перспективность использования эксимерных лазеров в технологии вакуумного напыления пленок.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.