Влияние термической обработки и лазерного воздействия на композицию ванадий--кремний
Чапланов А.М.1, Шибко А.Н.1
1Институт электроники АН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 20 декабря 1995 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1997 г.
Исследовано влияние слабого лазерного воздействия при термической обработке на композицию ванадий-кремний. Определено, что изменение фазового состава контакта обусловливает изменение его электрофизических параметров. Применение комбинированной обработки позволяет формировать выпрямляющий контакт ванадий-кремний с определенными, заранее заданными электрофизическими параметрами.
- Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции / Под ред. Дж. Поута. М.: Мир, 1982. 576 с
- Алимов Д.Т., Тюгай В.К., Хабибулаев П.К. // ДАН УзССР. 1985. N 4. С. 23--28
- Алимов Д.Т., Тюгай В.К., Хабибулаев П.К. и др. // Журн. физ. химии. 1987. Т. 61. N 11. С. 3065--3067
- Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Л. Майселла, М. Глэнга. Т. 1. М.: Сов. радио, 1977. 664 с
- Родерик Э.Х. Контакты металл--полупроводник. М.: Радио и связь, 1982. 208 с
- Чапланов А.М., Шибко А.Н. // Неорган. материалы. 1993. Т. 29. N 11. С. 1477--1479
- Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. М.: Мир, 1986. 176 с
- Стриха В.М. // РиЭ. 1966. Т. 11. N 11. С. 2092--2095
- Стриха В.М., Бузанева Е.В., Радзиевский И.А. Полупроводниковые приборы с барьером Шоттки. М.: Сов. радио, 1974. 248 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук