Перенос атомов и изменение состава поверхности в процессе имплантации ионов в многокомпонентные материалы
Кучинский В.В.1
1Научно-исследовательское предприятие гиперзвуковых систем, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 ноября 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.
Получена нестационарная система уравнений, описывающая динамику распределений концентраций компонентов многокомпонентного материала с учетом имплантации, распыления, внешего напыления и диффузии, сформулированы граничные условия и даны приближенные решения, позволяющие проанализировать влияние различных факторов на формирование концентрации в приповерхностных слоях.
- Ремизович В.С., Рогозкин Д.Б., Рязанов М.И. Флуктуации пробегов заряженных частиц. М.: Энергоатомиздат, 1988. 240 с
- Кучинский В.В. // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1990. Т. 54. N 7. C. 1382--1387
- Жиглинский А.Г., Кучинский В.В. Массоперенос при взаимодействии плазмы с поверхностью. М.: Энергоатомиздат, 1991. 208 с
- Williams J. // Phys. Lett. 1975. Vol. 51A. P. 85-87
- Кучинский В.В., Фафурина Э.Н. // Справочник констант элементарных процессов с участием атомов, ионов, электронов, фотонов. СПб., 1994. С. 235--275
- Андерсен Х., Бай Х. // Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984. С. 194--288
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук