Формирование и эволюция фазового состава и связанных с ним свойств в процессе роста тонких пленок
Кукушкин С.А.1, Осипов А.В.1
1Институт проблем машиностроения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.
Выведена полная система уравнений, описывающих эволюцию фазового состава островков, находящихся на стадии оствальдовского созревания в процессе роста тонких пленок, и найдено ее решение. Получена функция распределения островков твердых растворов при различных механизмах роста. Выработан общий подход к управлению фазовым составом и связанными с ним свойствами (электрическими, оптическими, прочностными и т. п.) в формирующихся многокомпонентных системах. Исследование ведется на примере роста тонких многокомпонентных пленок. Показано, что наибольшие возможности управления этими свойствами открываются на стадии оствальдовского созревания, а также при нелинейных явлениях, таких как автоколебания или самоорганизация. Выявлена связь между размером и составом зародышей новой фазы, образующихся в процессе конденсации пленок твердых растворов. Получена и решена система уравнений, описывающая эволюцию функции распределения свойств в островковых пленках твердых растворов при изменении внешних параметров системы. Показано, что существенная зависимость состава от внешних параметров проявляется при размерах островков с радиусом R=< 10-8 m независимо от типа вещества. Для островковых пленок стехиометрических соединений построена диаграмма сосуществования соответствующих свойств в координатах концентрация-температура, что позволяет определить условия, необходимые для их получения. Предсказано возможное периодическое изменение во времени и пространстве различных свойств в многокомпонентных системах, претерпевающих фазовый переход первого рода.
- Kukushkin S.A., Osipov A.V. // Prog. in Surf. Sci. 1996. Vol. 56. N 1. P. 1
- Мотт Н., Дэвид Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. Т. 1. М.: 1982. 652 с
- Kukushkin S.A. // Thin Solid Films. 1992. Vol. 207. P. 302--312
- Kukushkin S.A. // Thin Solid Films. 1994. Vol. 239. P. 16--26
- Кукушкин С.А. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 6. С. 1582--1596
- Кукушкин С.А. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 6. С. 1597--1608
- Кукушкин С.А., Слезов В.В. // Поверхность. 1989. N 4. C. 38--47
- Кукушкин С.А., Слезов В.В. // Поверхность. 1990. N 11. C. 22--26
- Кукушкин С.А., Слезов В.В. // ФТТ. 1987. Т. 29. Вып. 12. С. 3657--3666
- Kukushkin S.A., Osipov A.V. // Thin Solid Films. 1993. Vol. 227. P. 119--127
- Osipov A.V. // Thin Solid Films. 1993. Vol. 227. P. 111--118
- Osipov A.V. // Thin Solid Films. 1995. Vol. 231. P. 173--182
- Осипов А.В. // ФТТ. 1995. Т. 36. Вып. 5. С. 1213--1228
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 1996. Т. 38. Вып. 2. С. 107--115
- Osipov A.V. // J. Phys. D. 1995. Vol. 28. P. 1670--1679
- Физическое металловедение. Вып. 2. Фазовые превращения в металлах и сплавах и сплавки с особыми физическими способами / Под ред. Р.У. Кана, Хаазена. М., 1987. 624 с
- Темкин Д.И. // Рост кристаллов. 1983. Т. 14. С. 74--88
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 1994. Т. 36. Вып. 5. С. 1258--1270
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 1995. Т. 37. Вып. 7. С. 2127--2132
- Кацнельсон А.А., Олемский А.И. Микроскопическая теория неоднородных структур. М., 1987. 334 с
- Потехина Н.Д. // ЖТФ. 1975. Т. 45. Вып. 10. С. 2033--2042
- Лифшиц И.М., Слезов В.В. // ФТТ. 1959. Т. 1. Вып. 9. С. 1401--1411
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.