Увеличение интенсивности отражения рентгеновского излучения от поверхности при нанесении на нее алмазоподобной углеродной пленки
Баранов А.М.1
1Государственный научно-исследовательский институт вакуумной техники, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 2 сентября 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1998 г.
Экспериментально показана возможность изготовления отражающих поверхностей с шероховатостью, достаточной для рентгеновской оптики.
- Салащенко Н.Н., Платонов Ю.Я., Зуев С.Ю. // Поверхность. 1995. N 10. С. 5--19
- Зеркальная рентгеновская оптика. Л.: Машиностроение, 1989. 463 с
- Ali I., Roy S.R., Shinn G. // Sol. St. Technol. 1994. N 10. P. 63--70
- Обработка полупроводниковых материалов. Киев: Наукова думка, 1982. 256 с
- Prioli R., Zanette S.I. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. Vol. 14. P. 2351--2356
- Mikhailov I.F., Pinegin V.I., Sleptsov V.V., Baranov A.M. // Cryst. Res. Technol. 1995. Vol. 30. N 5. P. 643--649
- Baranov A., Tereshin S., Mikhailov I. // Proc. SPIE. 1996. Vol. 2863. P. 359--367
- Баранов А.М., Михайлов И.Ф. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. Вып. 23. С. 60--63
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук