Вышедшие номера
Влияние процесса ионного распыления на статистические характеристики поверхности
Меркулов А.В., Меркулова О.А.
Поступила в редакцию: 10 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1999 г.

Исследовалась модификация поверхности арсенида галия во время облучения тяжелыми ионами цезия Cs+ путем измерения распределения высот поверхностей образцов атомно-силовым микроскопом. Наблюдалось как увеличение, так и уменьшение интегрального параметра sigma-среднеквадратичной высоты. Установлено, что в латеральном диапазоне 1-100 nm шероховатость поверхности арсенида галия увеличивается для всех исследуемых образцов. Анализ структурной функции позволил оценить характерные латеральные размеры поверхностных структур, возникающих в процессе ионного травления.