Влияние процесса ионного распыления на статистические характеристики поверхности
Меркулов А.В., Меркулова О.А.
Поступила в редакцию: 10 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 января 1999 г.
Исследовалась модификация поверхности арсенида галия во время облучения тяжелыми ионами цезия Cs+ путем измерения распределения высот поверхностей образцов атомно-силовым микроскопом. Наблюдалось как увеличение, так и уменьшение интегрального параметра sigma-среднеквадратичной высоты. Установлено, что в латеральном диапазоне 1-100 nm шероховатость поверхности арсенида галия увеличивается для всех исследуемых образцов. Анализ структурной функции позволил оценить характерные латеральные размеры поверхностных структур, возникающих в процессе ионного травления.
- Johan B. Mahnerbe. // Critical Reviews in Solid State and Material Science. 1994. Vol. 24 (3). P. 141--146
- Ion Bombardment Modification of Surfaces. Fundamentals and Applications / Ed. O. Auciello, R. Kelly. Elsevier, 1984
- Yoshukazu Homma, Hamao Okamota, Yoshukazu Ishii // Jap. J. Appl. Phys. 1985. Vol. 24 (8). P. 934--939
- Demanet C.M., Vijaya Sankar K., Mahnerbe J.B. at al. Surface and Interface Analysis. 1996. Vol. 24. P. 497--502
- Demanet C.M., Vijaya Sankar K., Mahnerbe J.B. // Surface and Interface Analysis. 1996. Vol. 24. P. 503--510
- Demanet C.M., Vijaya Sankar K., Mahnerbe J.B., Van der Berg N.G. // Surface and Interface Analysis. 1995. Vol. 23. P. 433--439
- Almqvist N. // Surf. Sci. 1996. Vol. 355. P. 221--228
- Ogilvi J.A., Foster J.R. // J. Phys. D. 1989. Vol. 22. P. 1243--1251
- Csahok Z., Farkas Z., Menyharg M. et al. // Surf. Sci. Lett. 1996. Vol. 364. P. 600--604
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
