Характер рентгенодифракционного рассеяния и определение структурных параметров пленки с переменным градиентом деформации
Дышеков А.А.1, Хапачев Ю.П.1
1Кабардино-Балкарский государственный университет, Нальчик, Россия
Поступила в редакцию: 24 февраля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.
Рассмотрим особенности рентгенодифракционного поля в структурах с переменным градиентом деформации на примере модели с экспоненциальным профилем. Показано, что задача восстановления структурных параметров нарушенного слоя по угловым положениям основного максимума и осцилляций в общем случае оказывается неоднозначной даже при монотонном изменении деформации по глубине. Получены условия, при которых решение этой задачи оказывается возможным. Выявлена аналогия с результатами подхода к расшифровке параметров нарушенного слоя, основанного на использовании интегральных характеристик кривой дифракционного отражения.
- Афанасьев А.М., Кон В.Г. // ЖЭТФ. 1978. Т. 74. Вып. 1. С. 300--313
- Дышеков А.А., Хапачев Ю.П. // Поверхность. 1997. Вып. 3
- Дышеков А.А., Хапачев Ю.П. // Поверхность. 1997. Вып. 3
- Найфэ А. Методы возмущений. М.: Мир, 1976. 455 с
- Абрамовиц М., Стиган И. Справочник по специальным функциям. М.: Наука, 1979. 832 с
- Бушуев В.А., Хапачев Ю.П., Лидер В.В. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 23. С. 74--78
- Afanasev A.M., Kovalchuk M.V., Kovev E.K., Kohn V.G. // Phys. St. Sol. (a). 1977. Vol. 42. P. 415--422
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.