Инициирование объемного разряда низкого давления в плазменном источнике электронов с ленточным пучком
Мартенс В.Я.1
1Ставропольский государственный технический университет, Ставрополь, Россия
Поступила в редакцию: 18 мая 1998 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1999 г.
Представлены результаты экспериментального исследования объемного разряда низкого давления с клинообразным полым катодом в плазменном источнике электронов при инициировании этого разряда отражательным и магнетронным разрядами.
- McMahon R.A., Ahmed H., Godfrey D.J. et al. // Microelectronics J. 1984. Vol. 15. N 2. P. 5--23
- Thompson L.R., Knapp J.A., Moore C.A. et al. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1988. Vol. 107. P. 195--199
- Moore C.A., Meyer J.D., Fukumoto J.T. et al. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1988. Vol. 107. P. 207--212
- Бугаев С.П., Крейндель Ю.Е., Щанин П.М. Электронные пучки большого сечения. М.: Энергоатомиздат, 1984. С. 43
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук