Структурные и фазовые превращения в тонких пленках титана при облучении азот-водородной плазмой
Чапланов А.М.1, Щербакова Е.Н.1
1Институт электроники АН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 6 мая 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1999 г.
Исследованы структурные и фазовые превращения в пленках титана при обработке в азот-водородной плазме. Установлены закономерности формирования и роста нитрида титана в зависимости от параметров плазменного облучения. Определено удельное электросопротивление облученных пленок.
- Дворина Л.А., Драненко А.С. Микроэлектроника и тугоплавкие соединения. Киев, 1996. 48 с
- Wittmer M. // J. Vacuum Sci. Technol. 1985. Vol. A3. N 4. P. 1797--1803
- Коньков В.Л., Рубцов Р.А. // Изв. вузов. Сер. Физика. 1965. N 2. С. 135--141
- Арзамасов Б.Н. Химико-термическая обработка металлов в активизированных газовых средах: М.: Машиностроение, 1979. 224 с
- Арцимович Л.А. Элементарная физика плазмы. М.: Атомиздат, 1969. 192 с
- Тилл У., Лаксон Д. Интегральные схемы: Материалы, приборы, изготовление. М.: Мир, 1985. 501 с
- Кузнецов М.В., Журавлев Ю.В., Губанов В.А. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1992. N 2. С. 86--91
- Данилов Б.С. // Итоги науки и техники. Сер. Электроника. М.: ВИНИТИ, 1987. Т. 19. С. 121--151
- Кипарисов С.С., Левинский Ю.В. Азотирование тугоплавких металлов. М.: Металлургия, 1972. 160 с
- Чапланов А.М., Шибко А.Н. // Неорган. материалы. 1993. Т. 29. N 11. С. 1477--1479
- Gernstenberg O. // Annal. Phys. 1963. Bd 11. N 7--8. S. 354--364.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук