Перенос металла в Si тепловым действием непрерывного CO2 лазерного излучения
Шкумбатюк П.С.1
1Дрогобычский государственный педагогический институт, Дрогобыч, Украина
Поступила в редакцию: 2 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1999 г.
Исследовано влияние локального теплового действия непрерывного CO2 лазерного излучения с плотностью мощности до 103 W/cm2 на металл-Si. Выявлено, что на перенос металла в Si влияют структурные дефекты образованные в результате облучения.
- Рыкалин Н.Н., Углов А.А., Зуев Н.В. Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов. М.: Наука, 1985. 250 с
- Бонч-Бруевич А.М., Дорофеев В.Г., Либенсон М.Н. и др. // ЖТФ. 1982. Т. 52. Вып. 6. С. 1733--1737
- Болли Б., Уэйнер Дж. Теория температурных напряжений. М.: Мир, 1964
- Барански П.И., Клочков В.П., Потыкевич И.В. Полупроводниковая электроника. 1975. 704 с
- Липтуга А.И., Малютенко В.К., Бойко И.И. // ФТП. 1978. Т. 12. Вып. 7. С. 1447--1449
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук