Гетероэпитаксиальный рост пленок сложного оксида из самоорганизованной системы, образующейся в плазме газового разряда
Мухортов В.М.1, Головко Ю.И.1, Толмачев Г.Н.1, Мащенко А.И.1
1Институт общей физики РАН, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 29 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1999 г.
Приведены новые экспериментальные данные об особенностях синтеза и кристаллизации пленок твердых растворов цирконата титаната свинца, осаждаемых с помощью высокочастотного диодного распыления керамических мишеней. Такая система осаждения обладает пороговыми состояниями, переход через которые ведет к качественному изменению протекающих в ней процессов и возникновению эффектов самоорганизации. Основная особенность этого изменения определяется появлением в плазме высокочастотного разряда новой структурированной системы, состоящей из распыленных и образованных в плазме частиц.
- Swarts S.L., Wood V.F. // Condeset. Matter. News. 1992. Vol. 1. N 5. P. 4--12
- Lee I., Ramesh R., Keramidas V.G., Anciello O.// Intergrated Ferroelectrics. 1995. Vol. 8. P. 317--333
- Rcaney J.M., Brooks K., Klissurska R. // J. Amer. Ceram. Soc. 1994. Vol. 77. P. 1209--1231
- Власенко Е.В., Журавлев И.Л., Лавренов А.А. и др. // Электронная пром-сть. 1983. Т. 8. N 125. С. 58--64
- Смирнова Б.М. // УФН. 1997. Т. 167. Вып. 11. С. 1169--1200
- Мухортов В.М., Толмачев Г.Н., Мащенко А.И. и др. // ЖТФ. 1992. Т. 62. Вып. 5. С. 495--499
- Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969. С. 93
- Мухортов В.М., Толмачев Г.Н., Головко Ю.И. и др. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 9. С. 99--103
- Surowiak Z., Nikitin Y.S., Birykov S.V. et al. // Thin solid Films. 1992. Vol. 208. P. 76--86
- Мухортов В.М., Головко Ю.И., Бирюков С.В. и др. // Металлофизика. 1988. Т. 10. N 5. С. 97--99
- Мышенков В.И., Яценко Н.Я. // Физика плазмы. 1982. Т. 8. Вып. 3. С. 543--549
- Райзер Ю.П. Основы современной физики газоразрядных процессов. М.: Наука, 1980. С. 105
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.