Синтез пленок оксида цинка с прямой и наклонной текстурой в неоднородной газоразрядной плазме
Веселов А.Г.1, Джумалиев А.С.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники РАН, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 15 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.
Представлены результаты роста пленок оксида цинка с нормальной и наклонной текстурой на протяженных аморфных подложках. Показана возможность формирования требуемой текстуры путем управления потоками заряженных частиц при сохранении положения подложки в плоскости параллельной мишени в планарной магнетронной распылительной системе на постоянном токе в смеси аргона и кислорода. Исследование текстуры пленок проводилось методом рентгеновской дифракции и методом возбуждения продольных и сдвиговых объемных акустических волн.
- Aita G.R. // Ulrason. Symp. Proc. 1980. P. 795--800
- Kikuo Tominaga, Satoshi Iwamura, Iwao Fujita et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1982. Vol. 21. N 7. P. 999--1002
- Anderson A.C., Oates D.E. // Ultrason. Symp. Proc. 1982. P. 329--333
- Miura M. // Jap. J. Appl. Phys. 1982. Vol. 21. N 2. P. 264--271
- Hadimioglu B., La Comb L.J., Jr., Wright D.R. et al. // Appl. Phys. Lett. 1987. Vol. 50. N 23. P. 1642--1644
- Howell D., Goddard L., Khuri-Yakub B.T. // Ultrason. Symp. 1987
- Wang J.S., Lakin K.M. // Ultrason. Symp. Proc. 1982. P. 480--483
- Krishnaswamy S.V., McAvoy B.R., Takei W.J. // Ultrason. Symp. Proc. 1982. P. 476--479
- Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с
- Веселов А.Г., Джумалиев А.С. Электронная техника. Сер. 7. Технология, организация производства и оборудование. 1988. С. 71--75
- Kikuo Tominaga, Nozomu Ueshiba, Yoshihiro Shintani et al. // Jap. J. Appl. Phys. 1981. Vol. 20. N 3. P. 519--526
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук