Формирование пучка ионов, извлекаемых из плазмы тлеющего разряда
Гаврилов Н.В., Емлин Д.Р.1
1Институт электрофизики Уральского отделения РАН, Екатеринбург, Россия
Поступила в редакцию: 10 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.
В плазменно-эмиссионных структурах на основе тлеющего разряда разность потенциалов между эмитирующей ионы плазмой и экранным электродом ионно-оптической системы зависит от особенностей электродной системы тлеющего разряда и может изменяться в пределах 0-1 kV. Приведены результаты экспериментального исследования и компьютерного моделирования формирования пучков ионов с энергией 1-50 keV и плотностью тока 1-10 mA/cm2 в ионных источниках на основе таких структур.
- Молоковский С.И., Сушков А. Д. Интенсивные электронные и ионные пучки. М.: Энергоатомиздат, 1991. 138 с
- Aston G., Kaufman H.R., Wilbur P.J. // AIAA J. 1978. Vol. 16. N 5. P. 516--524
- Coupland J.R., Green T.S., Hammond D.R., Riviere A.C. // Rev. Sci. Instrum. 1973. Vol. 44. N 9. P. 1258--1270
- Aston G., Kaufman H.R. // AIAA Paper 78--669. 1978. P. 1--15
- Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Radkovskii G.V., Bersenev V.V. // Surface and Coating Technology. 1997. Vol. 96. N 1. P. 81--88
- Метель А.С. // ЖТФ. 1984. Т. 54. Вып. 2. С. 241--247
- Gavrilov N.V., Mesyats G.A., Nikulin S.P. et al. // J. Vac. Sci. Techonol. A. 1996. Vol. 14. P. 1050--1055
- Гаврилов Н.В., Никулин С.П., Радковский Г.В. // ПТЭ. 1996. N 1. С. 93--98
- Кельман В.М., Явор С.Я. Электронная оптика. Л.: Наука, 1968. 487 с
- Green T.S. // J. Phys. D. 1976. Vol. 9. P. 1165--1171
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.