Вышедшие номера
Рентгенодифрактометрическая диагностика лазерной диффузии алюминия в кремний
Бушуев В.А.1, Петраков А.П.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 января 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.

Методами рентгеновской дифрактометрии высокого разрешения исследованы изменения структуры монокристаллов кремния, которые возникают в процессе неравновесной твердофазной диффузии атомов алюминия при нагреве приповерхностного слоя излучением CO2 лазера с длительностями импульсов 1, 2 и 3 s. Определены профили деформации кристаллической решетки, диффузионные длины, концентрации примеси алюминия, средние размеры и концентрации дислокационных петель.