Особенности роста пленок гидрированного аморфного кремния в PECVD-реакторах
Горбачев Ю.Е.1, Затевахин М.А.1, Кржижановская В.В.1, Швейгерт В.А.1
1Институт высокопроизводительных вычислений и баз данных, Санкт-Петербург, Россия
Email: gorbachev@hm.csa.ru
Поступила в редакцию: 10 февраля 1999 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2000 г.
Построена эффективная модель, позволяющая рассчитывать параметры роста кремниевых пленок в PECVD-реакторах диодного и триодного типов, а также анализировать причины, приводящие к изменению процесса осаждения кремнийсодержащих радикалов. Выяснены механизмы влияния разбавления силана молекулярным водородом на процесс роста пленки.
- Голикова О.А. // ФТП. 1991. Т. 25. Вып. 9. С. 1517--1535
- Kushner M.J. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. N 8. P. 2532--2551
- Горбачев Ю.Е., Затевахин М.А., Каганович И.Д. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 12. С. 89--110
- Nienhuis G.J., Goedheer W.J. et al. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 82. P. 2060--2071
- Жиляев М.И., Швейгерт В.А., Швейгерт И.В. // ПМТФ. 1994. Т. 35. N 1. С. 13--21
- Wilke C.R. // Chem. Eng. Progress. 1950. Vol. 46. N 2. P. 95--104
- Гиршфельдер Дж., Кертисс Ч., Берд Р. Молекулярная теория газов и жидкостей. М.: ИЛ, 1961. 930 с
- Гинзбург И.П. Трение и теплопередача при движении смеси газов. Л.: Изд-во университета, 1975. 278 с
- Perrin J., Leroy O. // Contrib. Plasma Phys. 1996. Vol. 36. N 3. P. 3--49
- Itabashi N., Kamo K., Nishawaki N. // Jap. J. Appl. Phys. 1989. Vol. 28. N 2. P. 325--328
- Perrin J. // J. Phys. D. 1993. Vol. 26. P. 1662--1679
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук