Деградация арсенида галлия при воздействии эксимерного лазера
Градобоев А.В.1, Федоров А.И.1
1Институт оптики атмосферы СО РАН, Томск, Россия
Email: lfmi@asd.tomsk.su
Поступила в редакцию: 12 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2000 г.
Представлены результаты исследования механизма деградации поверхноcти арсенида галлия в результате воздействия мощного эксимерного лазера с плотностью мощности в диапазоне от пороговой до плотности мощности, приводящей к локальному плавлению поверхности. Выявлено два механизма деградации поверхности, первый из которых связан с формированием тонкого приповерхностного слоя нестехиометрического модифицированного арсенида галлия при плотности мощности лазерного излучения более 1· 107 W/cm2, а второй - с образованием отдельной фазы галлия. Образование отдельной фазы галлия может происходить как при воздействии одиночного импульса лазерного излучения с плотностью мощности более 2.7· 1011 W/cm2, так и при воздействии нескольких импульсов с меньшей плотностью мощности. Установлено эмпирическое соотношение между плотностью мощности и количеством воздействующих импульсов, приводящих к формированию отдельной фазы галлия. Установлено также, что в результате воздействия лазерного излучения на границе "холодный" арсенид галлия-"горячий" арсенид галлия формируются периодические структуры дефектов в виде блочных структур, ориентированных по направлениям [100].
- Гусаков Г.М., Кондратова Т.Н. // Поверхность. Физика. Химия. Механика. 1990. N 3. С. 152
- Ефимова А.И., Кашкаров П.К., Петров В.Н., Тимошенко В.Ю. // Поверхность. Физика. Химия. Механика. 1990. N 8. С. 94--100
- Птащенко А.А., Цап Б.В. // Фурн. прикл. спектроскопии. 1989. Т. 50. N 6. С. 987--901
- Gradoboev A.V., Fedorov A.I. // Proc. IV Intern. Conf. "Pulsed Lasers on Atomic and Molecular Transition". Tomsk, 1999
- Градобоев А.В., Федоров Ф.И. // Оптика атмосферы и океана. 1989. Т. 2. N 7. С. 772--775
- Федоров А.И., Бричков С.А. // Оптика атмосферы и океана. 1989. Т. 2. N 7. С. 772--775
- Федоров А.И. // Оптика атмосферы и океана. 1997. Т. 10. N 11. С. 1274--1284
- Iida S., Ito K. // J. Electrochem. Soc. 1971. Vol. 118. N 5. P. 768--769
- Джумамухамбетов Н.Г., Дмитриев А.Г. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 4. С. 83--84
- Грибов Б.Г., Гусаков Г.М., Кондратова Т.Н. и др. // ДАН СССР. 1990. Т. 314. N 3. С. 618--621
- Дмитриев А.Г. // ФТП. 1993. Т. 27. Вып. 4. С. 583--587
- Кашкаров П.К., Петров В.И., Птицин Д.В., Тимошенко В.Ю. // ФТП. 1989. Т. 24. Вып. 1. С. 2080--2082
- Захарова А.А., Рыжий В.И. // ФТП. 1989. Т. 23. Вып. 10. С. 1898--1900
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук