Вышедшие номера
Лазерная имплантация и диффузия магния в кремний
Арутюнян В.М.1,2, Ахоян А.П.1,2, Адамян З.Н.1,2, Барсегян Р.С.1,2
1Ереванский государственный университет, Ереван, Армения
2(Aroutiounian)
Email: vladimir@www.physdep.r.am
Поступила в редакцию: 21 апреля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 января 2001 г.

Представлены экспериментальные результаты лазерно-стимулированной диффузии ("имплантации") атомов магния в кремний. Показано, что облучение неодимовым лазером (lambda=1.06 mum, tau~ 0.4 ms) приводит к увеличению растворимости и коэффициента диффузии магния в кремний. Исследованы вольт-амперные, вольт-фарадные характеристики, а также спектры термостимулированных токов кристаллов <Si + Mg>.