Низкотемпературное окисление пленок CoCu длительным облучением пучком ионов кислорода
Стогний А.И.1, Корякин С.В.1, Вирченко В.А.1
1Институт физики твердого тела и полупроводников НАН Белоруссии, Минск, Белоруссия
Email: stognij@ifttp.bas-net.by
Поступила в редакцию: 17 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2001 г.
Представлены результаты исследований поверхности и поверхностного слоя тонких пленок неоднородных сплавов CoxCu100-x, подвергнутых длительному (до 100 min) пучковому облучению ионами кислорода. Пленки получали электролитическим осаждением. Методами рентгеновской фотоэлектронной и конверсионной электронной мессбауэровской спектроскопии показано формирование в результате облучения окисленного поверхностного слоя, сплошность и толщина которого определяются степенью шероховатости исходного рельефа поверхности пленок. Установлено, что для пленок с содержанием кобальта 8=< x=< 20 at% окисленный слой является сплошным, неоднородным по толщине со средней толщиной, оцениваемой в десятки нанометров с отчетливой границей перехода между окисленным слоем и нижележащей пленкой. Исследуемые пленки после облучения имели более планарный, чем в исходном состоянии, рельеф поверхности. Для описания процесса формирования окисленного слоя предложена качественная модель.
- Окисление металлов. Т. 1. Теоретические основы / Под ред. Ж. Бенар. М.: Металлургия, 1968. 499 с
- Thomas P.V., Vaidyan V.K., Abraham Johny T. // Vacuum. 1996. Vol. 47. N 1. P. 83--86
- Федосюк В.М., Касютич О.И., Блайт Х.И. // Поверхность. 2000. N 3. C. 62--69
- Cтогний А.И., Корякин С.В., Суходолов Ю.В. // Сб. тр. Междунар. конф. "Физика плазмы и плазменные технологии-2". Минск: Изд-во НАН Белоруссии, 1977. Т. 3. С. 574
- Стогний А.И., Корякин С.В. // Сб. тр. XVII Междунар. школы-семинара "Новые магнитные материалы микроэлектроники". М.: Изд-во УРСС, 2000. С. 124--125
- Стогний А.И., Токарев В.В. // ПТЭ. 1990. N 3. C. 142--146
- Колешко В.М., Гойденко П.П., Буйко Л.Д. Контроль в технологии микроэлектроники. Минск: Наука и техника, 1979. 312 с
- Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Под ред. Д. Бриггса, М.П. Сиха. М.: Мир, 1987. 600 с. (Practical Surface Analysis by Auger and X-ray Protoelectron Spectroscopy / Ed. D. Briggs, M.P. Seach. John Wiley and Sons, 1983)
- Tada S., Sakamoto Y., Suzuki T. et al. // Vacuum. 1999. Vol. 53. N 2. P. 321--325
- Шер Э.М., Микушкин В.М., Сысоев С.Е. и др. // ЖТФ. 2000. Вып. 3. С. 78--81
- Fedosyuk V.M. // Proc. NATO Advanced Research Workshop (ARW) on Nanostructured Films and Coatings. Book of Abstract. Santorini (Greece), 1999. P. 22--39
- Вертхейм Г. Эффект Мессбауэра. М.: Мир, 1996. 172 с
- Нестеров В.Ф., Насрединов Ф.С., Дарибаева Г.Т. // ФТТ. 1991. Вып. 9. С. 2699--2703
- Prasanna and Ajay Gupta // Phys. Rev. B. 1993. Vol. 45. N 1. P. 483--485
- Wertheim G.K. // Phys. Rev. 1961. Vol. 124. P. 764--769
- Smentkowski V.S. // Progress in Surf. Sci. 2000. Vol. 64. N 5. P. 1--58
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук