Конденсация смесей моносилан--аргон и моносилан--гелий в свободной струе
Хмель С.Я.1, Федоров С.Ю.1, Шарафутдинов Р.Г.1
1Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
Email: khmel@itp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 2 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2001 г.
Конденсация газовых смесей моносилан-аргон и моносилан-гелий исследовалась в свободных струях с помощью диагностики, основанной на рэлеевском рассеянии лазерного излучения. Процесс конденсации в смеси SiH4-Ar начинается при меньшем давлении торможения, на меньшем расстоянии от сопла и протекает более интенсивно, чем в смеси моносилан-гелий и в чистом аргоне. Результаты рэлеевских измерений в струе кондесирующейся смеси моносилан-аргон обобщаются по параметру P0d0.8. Анализ полученных результатов и литературных данных позволяет предположить, что в смеси моносилан-аргон идет процесс совместной конденсации моносилан-аргон с образованием смешанных кластеров.
- Street R.A. Phys. Stat. Sol. A. 1998. Vol. 166. N 2. P. 695--705
- Belikov A.E., Biryukov S.A., Sukhinin G.I. et al. // Proc. of 17th Intern. Symposium on Rarefied Gas Dynamics. Aachen (Germany), 1990. VCH. 1991. P. 1568--1575
- Halpern B.L., Schmitt J.J., Golz J.W. et al. // Appl. Surf. Sci. 1991. Vol. 48/49. P. 19--26
- Sharafutdinov R.G., Skrinnikov A.V., Parakhnevich A.V. et al. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79. N 9. P. 7274--7277
- Mullins C.B., Pacheco K.A., Banerjee S. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 82. N 12. P. 6281--6288
- Motooka T., Abe H., Fons P. // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 63. N 25. P. 3473--3475
- Ikoma Y., Endo T., Watanabe F. et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1999. Pt 2. Vol. 38. N 3B. L. 301--303
- De Graaf. A., Dinescu G., Longueville J.L. et al. // Thin Solid Films. 1998. Vol. 333. N 1--2. P. 29--34
- Hagena O.F. // Surf. Sci. 1981. Vol. 106. P. 101--116
- Hagena O.F., Obert W. // J. Chem. Phys. 1972. Vol. 56. N 5. P. 1793--1802
- Sharafutdinov R.G., Fedorov S.Yu., Khmel S.Ya. et al. // Proc. of 14th Intern. Symp. on Plasma Chemistry. Prague, 1999. Vol. 3. P. 1297--1302
- Khmel S.Ya, Sharafutdinov R.G., Skrinnikov A.V. // Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers of 13th ESCAMPIG. Poprad (Slovakia), 1996. Vol. 20E. Pt B. 425--426
- Khmel S.Ya., Fedorov S.Yu., Sharafutdinov R.G. // Proc. of 24th Intern. Conf. on Phenomena in Ionized Gases. Warsaw, 1999. Vol. 4. P. 105--106
- Ding A., Cassidy R.A., Cordis L.S. et al. // J. Chem. Phys. 1985. Vol. 83. N 7. P. 3426--3432
- Шарафутдинов Р.Г., Зарвин А.Е., Коробейщиков Н.Г. и др. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. Вып. 21. С. 47--51
- Eckbreth A.C. Laser Diagnostics for Combustion Temperature and species. Combustion Science \& Technology Book Series. Vol. 3. Australia: Cordon and Breach Publishers, 1996. P. 596
- Таблицы физических величин. Справочник/ Под ред. Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. 1008 с
- Watson H.E., Ramaswamy K.L. // Proc. of Royal Society of London. Ser. A. 1936. Vol. 156. N A887. P. 144--157
- Lewis J.W.L., Williams W.D. // The Physics of Fluids. 1976. Vol. 19. N 7. P. 951--959
- Аборнев Е.М., Нерушев О.А., Новопашин С.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. Вып. 21. С. 84--87
- Недосекова С.В., Сковородко П.А. // Труды X Всесоюз. конф. по динамике разреженных газов. М., 1989. Т. 3. С. 116--123
- Randall R.W., Howard B.J. // J. Chem. Phys. 1994. Vol. 100. N 10. P. 7051--7060
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.