Влияние имплантации He+, O+, B+, Cd+ на структуру поверхности подложек из оксида магния для пленок ВТСП
Яковлев Ю.М.1, Николайчук Г.А.1, Шибанова Н.М.1, Крылова Т.А.1, Калюжная Л.А.1, Петухова В.В.1
1Научно-исследовательский институт "Домен", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 13 октября 2000 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2001 г.
Экспериментально исследовано изменение структуры и морфологии поверхности полированной подложки из оксида магния MgO (100) в зависимости от проводимых обработок, включающих ионную имплантацию и лазерный отжиг. Сочетание ионной имплантации с последующим лазерным отжигом изменяют структуру поверхности подложки MgO (100), создавая монокристаллический поверхностный слой. Согласно электронографическим исследованиям сплошной монокристаллический слой получен только при имплантации ионами Cd+.
- Shen Z.-Y. High Temperature Superconducting Circuits. Nortwood, MA: Artech house, 1994. 420 p
- Lutsev L.V., Yakovlev S.V. // J. Appl. Phys. 1998. Vol. 83. N 11. P. 1--3
- Николайчук Г.А., Яковлев С.В., Крылова Т.А. и др. // Неорган. материалы. 1998. Т. 34. N 6. С. 718--721
- Лебедь Б.М., Яковлев С.В., Николайчук Г.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 2. N 10. С. 18--22
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук