Химическая чистота алмазоподобных пленок, полученных методом ионно-лучевого осаждения
Пшеничнюк С.А.1, Юмагузин Ю.М.1
1Институт физики молекул кристаллов Уфимского научного центра РАН, Уфа, Россия Башкирский государственный университет, Уфа, Россия
Email: imcp@anrb.ru
Поступила в редакцию: 26 декабря 2000 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2001 г.
Методом вторично-ионной масс-спектрометрии исследован элементный состав образцов тонких алмазоподобных пленок, плученных в сверхвысоком вакууме путем ионно-лучевого осаждения на поверхностях кремниевых подложек. Качественный анализ результатов и их сравнение с данными, полученными для образцов графита и пироуглерода, показал высокую химическую чистоту полученных алмазоподобных покрытий.
- Tsai Hsiao-chu, Bogy D.B. // J. Vac. Sci. Technol. 1987. Vol. A 5 (6). P. 3287--3312
- Вавилов В.С. // УФН. 1997. Т. 167. N 1
- Himpsel F.J., Knapp J.A., Van Vechten J.A., Eastman D.E. // Phys. Rev. B. 1979. Vol. 20. P. 624--627
- Пшеничнюк С.А., Юмагузин Ю.М., Бахтизин Р.З. // ПЖТФ. 1999. Т. 25. Вып. 15. С. 46--52
- Raiko V.R. // Diamond and Related Materials. 1996. N 10. P. 1063
- Wei J., Tzeng Y. // J. Cryst. Growth. 1993. N 128. P. 413
- Nishimura K., Das K., Glass J.T. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69 (5). P. 3142--3148
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. 328 с
- Методы анализа поверхностей / Под ред. А. Зандерны. Пер. с англ. М.: Мир, 1979. 582 с
- Пшеничнюк С.А., Юмагузин Ю.М. // ПЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 2. С. 72--76
- Пшеничнюк С.А., Юмагузин Ю.М., Бахтизин Р.З. // ПТЭ. 1998. N 6. С. 143--144
- Пшеничнюк С.А., Юмагузин Ю.М., Бахтизин Р.З. // Поверхность. 2000. N 10. С. 9--12
- Borges C.F.M., Schelz S., St.-Ongle L., Maisan M. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79 (6). P. 3290--3298
- Олевский С.С., Репко В.П., Александров Г.В. // ДАН СССР, 1979. Т. 245. N 6. С. 1382
- Чайковский Э.Ф., Пузиков В.М., Семенов А.В. // Кристаллография 1981. Т. 26. Вып. 1. С. 245--251
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук