Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Регрессионная модель каскада смещенных атомов при ионном распылении твердого тела
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия 
Email: thinfilm@eltech.ru
Поступила в редакцию: 18 октября 2000 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2001 г.
Разработана регрессионная модель каскада ионно-атомных столкновений при ионном распылении аморфных и поликристаллических материалов. Предложенная модель каскада смещенных атомов позволяет описывать упругие процессы рассеяния атомных частиц в твердом теле с применением различных межатомных потенциалов взаимодействия. На основе этой модели рассчитаны значения коэффициентов распыления материалов в порядковыми номерами Za=22...79 и скорости ионного распыления ряда многокомпонентных материалов. Сравнение результатов статистического моделирования в рамках разработанной модели с экспериментальными данными по распылению аморфных и поликристаллических материалов показало, что предложенная модель каскада ионно-атомных столкновений и каскада смещенных атомов достаточно корректно в пределах статистического разброса экспериментальных данных описывает процессы ионного распыления.
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984, 1986. Т. 1, 2
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. P. 383
- Abrahamson A.A. // Phys. Rev. 1969. Vol. 178. N 3. P. 76--79
- Gaydaenko V.I., Nikulin V.K. // Chem. Phys. Lett. 1970. Vol. 7. P. 360--362
- Petrov P.K., Volpyas V.A., Hollmann E.K. et al. // Vacuum. 1997. Vol. 48. N 7--9. P. 669--670
- Volpyas V.A., Hollmann E.K., Plotkin D.A., Goldrin V.I. // Vacuum. 1998. Vol. 51. N 2. P. 227--230
- Вольпяс В.А., Гольман Е.К., Цукерман М.А. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 4. С. 16--23
- Вольпяс В.А., Козырев А.Б. Физика слабоионизованной плазмы (монография). СПб.: Складень, 1997. 130 с. ( Volpyas V.A., Kozyrev A.B. Physics of Weakly-ionized Plasma (monograph). St.Petersburg: Skladen publishing, 1997. 130 p.)
- Petrov P.K., Volpyas V.A., Chakalov R.A. // Vacuum. 1999. Vol. 52. P. 427--434
- Вольпяс В.А., Гольман Е.К. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 3. С. 13--18
- Yamamura Y., Matsunami N, Iton N. // Rad. Eff. 1983. Vol. 71. P. 65
- Volpyas V.A., Hollmann E.K., Goldrin V.I. // Abstracts 10th Intern. School on Vacuun, Electron and Ion Technologies. Varna (Bulgaria), 1997. P. 18
- Pivovarov A.L., Chenakin S.P. et al. // Surface: Physics, Chemistry, Mechanics. 1989. Vol. 35. N 11. P. 31
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
