Моделирование процесса двухпучковой высокодозной ионной имплантации в твердотельные мишени
Комаров А.Ф.1
1Научно-исследовательский институт прикладных физических проблем им. А.Н. Севченко, Минск, Белоруссия
Email: kff@rfe.bsu.unibel.by
Поступила в редакцию: 27 июля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2001 г.
Разработана физико-математическая модель и программа динамического моделирования BEAM2HD, которая позволяет моделировать процесс одно- или двухпучковой высокодозной ионной имплантации в многослойные и многокомпонентные мишени. При этом число слоев не превышает трех, а число разных типов атомов в каждом слое не превышет семи. Моделирование реализовано методом Монте-Карло. Приводятся численные результаты работы по формированию сверхтвердных слоев Cx-> 3Ny-> 4 путем двухпучковой высокодозной ионной имплантации азота в многослойную систему Si3N4/C/Si3N4/Si.
- Robinson M.T., Torrens M.I. // Phys. Rev. 1974. Vol. B9. P. 5008--5024
- Guttner K., Ewald H., Schmidt H. // Rad. Eff. 1972. Vol. 13. P. 111--114
- Ishitani T., Shimizu R., Murata K. // Jap. J. Appl. Phys. 1972. Vol. 11. P. 125
- Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids. New York: Pergamon Press, 1985
- Gibbons J.F. // Nucl. Instr. and Meth. 1987. Vol. B22. P. 83--86
- Lizunov Yu.D., Ryazanov A.I. // Rad. Eff. 1982. Vol. 60. P. 95--100
- Burenkov A.F., Komarov F.F., Kumakhov M.A., Temkin M.M. Tables of Ion Implantation Spatial Distributions. New York; London; Paris: Gordon and Breach, 1986
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Темкин М.М. // Поверхность. 1989. N 4. С. 15--21
- Karpuzov D.S. // Phys. St. Sol. (a). 1986. Vol. 94. P. 365
- Mazzone A.M. // Appl. Phys. 1987. Vol. A42. P. 193
- Moller W., Eckstein W., Biersack J.P. // Comput. Phys. Commun. 1988. Vol. 51. P. 355--368
- Schonborn A., Heckng N., Kaat E.H. // Nucl. Instr. and Meth. 1989. Vol. B43. P. 170--175
- Lindhard J., Scharff M., Schiott H.E. // Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk. 1963. Vol. 33. N 14. P. 1--36
- Komarov A.F., Komarov F.F., Zukowski et al. // Nukleonika. 1999. Vol. 44. N 2. P. 363--368
- Комаров А.Ф., Комаров Ф.Ф., Шукан А.Л. и др. // Изв. Национальной академии наук Беларуси. Сер. физико-технических наук. 1999. N 3. С. 19--23
- Yamamura Y., Matsunami N., Itoh N. // Rad Eff. 1983. Vol. 71. P. 65
- Matsunami N et al. // Atomic Data and Nuclear Data Tables. 1984. Vol. 31. N 1. P. 2
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. P. 383
- Zalm P.C. // J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. P. 2660
- Southern A.L., Willis W.R., Robinson M.T. // J. Appl. Phys. 1963. Vol. 34. P. 153
- Blank P., Wittmaack K. // J. Appl. Phys. 1979. Vol. 50. P. 1519
- Nisse E.P.E // J. Appl. Phys. 1971. Vol. 42. P. 480
- Poate J.M., Brown W.L., Homer R. et al. // Nucl. Instr. and Meth. 1976. Vol. 132. P. 345
- Andersen H.H., Bay H.L. // J. Appl. Phys. 1975. Vol. 46. P. 1919
- Laegreid N., Wehnwr G.K. // J. Appl. Phys. 1961. Vol. 32. P. 365
- Sommerfeldt H., Mashkova E.S., Molchanov V.A. // Phys. Lett. 1972. Vol. 38A. P. 237
- Pavlov P.V., Kruze T.A., Tetelbaum D.I. et al. // Phys. St. Sol. (a). 1976. Vol. 36. P. 81
- Komarov F.F., Solov'yev V.S., Tishkov V.S. et al. // Rad. Eff. 1983. Vol. 69. P. 179
- Reeson K.J. // Nucl. Instr. and Meth. 1987. Vol. B19/20. P. 269
- Kachurin G.A., Akhmetov V.D., Tyschenko I.E., Plotnikov A.E. // Nucl. Instr. and Meth. 1993. Vol. B74. P. 399--404
- Markwitz A., Arps M., Bauman H. et al.// Nucl. Instr. and Meth. 1997. Vol. B124. P. 505--514
- Кривелевич С.А., Маковийчук М.И., Паршин Е.О. // Микроэлектроника. 1999. Т. 28. N 5. С. 363--369
- Barabanenkov M.Yu., Agafonov Yu.A., Mordkovich V.N. et al. // Nucl. Instr. and Meth. 2000. Vol. B171. P. 301--308
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф., Кумахов М.А., Темкин М.М. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. М.: Энергоатомиздат, 1985. 248 с
- Numerical Data and Functional Relationships in Science and Technology, Landolt-Bornstein. New Series III/7cl / Ed. K.H. Hellwege. Heidelberg: Springer, 1978
- Буренков А.Ф., Комаров Ф.Ф. // ЖТФ. 1988. Т. 58. N 3. С. 559--566
- Komarov F.F., Komarov A.F., Pilko V.V. et al. // Proc. Intern. Symp. "Ion Implantation of Science and Technology". Lublin (Poland), 1997. P. 38--41
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
