Вышедшие номера
Оптические характеристики стационарной плазмы продольного разряда на смеси гелий/фреон-12
Шуаибов А.К.1, Дащенко А.И.1, Шевера И.В.1
1Ужгородский национальный университет, Ужгород, Украина
Email: ishev@univ.uzhgorod.ua
Поступила в редакцию: 28 сентября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.

Исследовано излучение плазмы контрагированного продольного разряда постоянного тока на смеси He/CF2Cl2 в спектральной области 130-300 nm. Показано, что электроразрядная плазма является источником излучения в диапазоне 150-260 nm, сформированного на основе широких полос молекул Cl2 и однозарядных ионов хлора. Проведена оптимизация ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового (УФ-ВУФ) излучения плазмы в зависимости от давления и состава рабочей среды, тока разряда и времени работы на одной смеси в газостатическом режиме. Полученные результаты представляют интерес для разработки стационарного источника УФ-ВУФ излучения для применений в микроэлектронике, фотохимии и медицине.