Влияние термодиффузии на совершенство кристаллической структуры, формирующейся при конденсации из паровой фазы
Беляев А.П.1, Рубец В.П.1, Нуждин М.Ю.1, Калинкин И.П.1
1Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Email: Belyaev@TU.SPB.RU
Поступила в редакцию: 5 февраля 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.
Сообщается о результатах изучения влияния неоднородных условий синтеза, стимулирующих термодиффузию, на совершенство кристаллической структуры пленок теллурида кадмия, синтезируемых в вакууме путем конденсации из паровой фазы. Приводятся результаты технологических, геометрических, электрографических и электронно-микроскопических исследований. Показана "пороговость" положительного влияния неоднородных условий на совершенство формирующейся кристаллической структуры. Выявлено, что в присутствии термодиффузии температура подложки нетривиально влияет на совершенство кристаллической структуры формирующейся пленки. Ее повышение способствует не совершенству, а разупорядоченности структуры. Установлено, что термодиффузия изменяет продолжительность стадии оствальдовского созревания и тем самым создает условия для управления процессами формирования структуры. Продемонстрировано согласие экспериментальных данных с современной теорией процессов формирования пленок.
- Григорьев Д.А., Кукушкин С.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 7. С. 111--117
- Беляев А.П., Рубец В.П., Калинкин И.П. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 4. С. 133--135
- Беляев А.П., Рубец В.П., Нуждин М.Ю., Калинкин И.П. // ФТТ. 2001. Т. 43. Вып. 4. С. 745--749
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. // УФН. 1998. Т. 168. N 10. C. 1083--1116
- Кукушкин С.А. // ФТТ. 1993. Т. 35. Вып. 6. С. 1582--1596
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теоретическая физика. Т. VI. М.: Наука, 1988. 733 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.