Моделирование процесса разложения силана в высокочастотной плазме
Струнин В.И.1, Ляхов А.А.1, Худайбергенов Г.Ж.1, Шкуркин В.В.1
1Омский государственный университет, Омск, Россия
Email: strunin@omsu.omskreg.ru
Поступила в редакцию: 3 августа 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.
Построена модель, описывающая процесс разложения силана в разряде высокочастотной аргоновой плазмы. На основании численных расчетов получены концентрации продуктов разложения SiH4 и концентрации продуктов синтеза (высших силанов), проанализирована роль метастабильных атомов аргона в образовании радикала SiH3 и высших силанов.
- Шарафутдинов Р.Г., Бакланов М.Р., Аюпов Б.М. и др. // ЖТФ. 1995. Т. 65. Вып. 1. С. 181--185
- Струнин В.И., Худайбергенов Г.Ж. и др. // Тез. докл. Х конф. по физике газового разряда. Рязань, 2000. С. 182--183
- Горбачев Ю.Е., Затевахин М.А., Каганович И.Д. // ЖТФ. 1995. Т. 66. Вып. 12. С. 89--110
- Бэрд Р. Явления переноса. М.: Мир, 1974
- Рудобашта С.П. Диффузия в химико-технологических процессах. М.: Химия, 1993
- Kushner M.J. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. P. 2532
- Leroy O. et al. // Plasma Sources Sci. Technol. 1998. N 7. P. 348
- Горбачев Ю.Е. и др. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 8. С. 77--85
- Дерюгин А.А., Кочетов И.В. и др. // ТВТ. 1985. Т. 23. N 3. C. 435--439
- Струнин В.И., Худайбергенов Г.Ж., Шкуркин В.В. // Тез. докл. II Всероссийской научно-технической конф. "Компьютерные технологии в науке, проектировании и производстве". 2000. Ч. V. C. 29--31
- Струнин В.И., Худайбергенов Г.Ж., Шкуркин В.В. // Вестник ОмГУ. 2000. Вып. 2. С. 27--29
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук