Вышедшие номера
Математическое моделирование температурного профиля металлических пленок при импульсном фотонном отжиге
Нечаев В.Н.1, Шуба А.В.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Email: shandvit@rambler.ru
Поступила в редакцию: 20 сентября 2013 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

В рамках модели термического пика получено точное решение системы уравнений теплопроводности для электронной и фононной подсистем и определена температура пленки, подверженной некогерентному световому облучению. Проанализированы степень влияния теплового контакта с окружением, затухания электромагнитного излучения на пространственное распределение температуры в пленке алюминия. Даны рекомендации по выбору оптимального режима фотонного отжига.