Математическое моделирование температурного профиля металлических пленок при импульсном фотонном отжиге
Нечаев В.Н.1, Шуба А.В.1
1Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Email: shandvit@rambler.ru
Поступила в редакцию: 20 сентября 2013 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.
В рамках модели термического пика получено точное решение системы уравнений теплопроводности для электронной и фононной подсистем и определена температура пленки, подверженной некогерентному световому облучению. Проанализированы степень влияния теплового контакта с окружением, затухания электромагнитного излучения на пространственное распределение температуры в пленке алюминия. Даны рекомендации по выбору оптимального режима фотонного отжига.
- Шишияну С.Т., Шишияну Т.С., Райлян С.К. // ФТП. 2002. Т. 36. Вып. 5. С. 611--616
- Салтыков С.Н., Харин А.Н., Ховив А.М. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2009. Т. 11. N 2. С. 147--151
- Салтыков С.Н., Максименко А.А., Ховив А.М. // Вестник ВГУ. Серия: Химия. Биология. Фармация. 2009. N 2. С. 54--58
- Кущев С.Б., Канныкин С.В., Бугаков А.В., Санин В.Н. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2008. N 1. С. 48--53
- Белоусов О.К., Вавилова В.В., Иевлев В.М., Калинин Ю.Е., Ковнеристый Ю.К., Палий Н.А., Кущев С.Б., Паказаньева С.А., Самцова Н.П. // Деформация и разрушение материалов. 2007. N 6. С. 10--18
- Белоусов О.К., Вавилова В.В., Иевлев В.М., Калинин Ю.Е., Кущев С.Б., Палий Н.А., Паказаньева С.А. // Неорганические материалы. 2009. Т. 45. N 8. С. 941--948
- Даринский Б.М., Юдин Л.Ю. // Известия РАН. Сер. физ. 2011. Т. 75. N10. С. 1390--1393
- Иевлев В.М., Тураева Т.Л., Латышев А.Н. // ФММ. 2007. Т. 103. N 1. С. 61--72
- Амирханов И.В., Дидык А.Ю., Музафаров Д.З., Пузынин И.В., Пузынина Т.П., Саркар Н.Р., Сархадов И., Шарипов З.А. // Тез. докл. V Нац. конф. "РСНЭ-НАНО-2005". ИК РАН, М., 2005. С. 321
- Амирханов И.В., Дидык А.Ю., Саркар Н.Р., Сархадов И., Семина В.К., Хофман А., Шарипов З.А. // Письма в ЭЧАЯ. 2006. Т. 3. N 5 (134). С. 80--91
- Лифшиц И.М., Каганов М.И., Тантаров Л.В. // АЭ. 1959. Т. 6. С. 391--402
- Каганов М.И., Лифшиц И.М., Тантаров Л.В. // ЖЭТФ. 1956. Т. 31. N 2 (8). С. 232--237
- Маркевич М.И., Чапланов А.М., Щербакова Е.Н. // Наука и техника. 2013. N 2. С. 63--66
- Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
- Петров Ю.В., Иногамов Н.А., Мигдал К.П. // Письма в ЖЭТФ. 2013. Т. 97. Вып. 1. C. 24--31
- Кущев C.Б., Санин В.Н. // Вестник ВГТУ. 1998. Вып. 1.3. С. 66--69
- Нечаев В.Н., Шуба А.В. // Вестник ВГТУ. 2011. Т. 7. N 12.1. С. 45--47.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.