Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2015, выпуск 1 » Статья стр. 15
<<<>>>
Эволюция примеси ионов в переменном высокочастотном электрическом поле
Эндер А.Я., Эндер И.А., Герасименко А.Б.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2014 г.
PDF версия
Рассмотрена пространственно-однородная задача о поведении примеси ионов после включения гармонического электрического поля для различных законов взаимодействия ионов с атомами. Проведено разложение по параметру alpha, который оказывается малым при низкой напряженности электрического поля или при высокой частоте. Использована введенная нами ранее специальная нормировка, в которой подвижность в слабом электрическом поле равна единице. Показано, что в этой нормировке зависимости от времени электрического тока для любых частот и приобретаемой ионами полной энергии для высоких частот становятся универсальными и не зависят от сечения взаимодействия, Показано, как происходит накопление поправки к поперечной энергии ионов. Изучено поведение функции распределения ионов. Предложен простой способ определения эффективного времени между столкновениями для любых законов взаимодействия.
  1. Maneschijn A., Goedheer W.J. // J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. P. 2923
  2. Kypers A.D., Hopman H.J. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. P. 1894
  3. Chen F.F., Chang J.P. Lecture Notes on principles of plasma processing. Springer, 2003. 208 p
  4. Liberman M.A., Lichtenberg A.J. Principles of Plasma Discharge and Material Processing. Hoboken, NJ: Wiley Interscience, 2005. 800 p
  5. Bhatnagar P.L., Gross E.P., Krook M. // Phys. Rev. 1954. Vol. 94. P. 511--525
  6. Robson R.E., Makabe T. // Aust. J. Phys. 1994. Vol. 47. P. 305--314
  7. Sugawara H., Tagashira H., Sakay Y. // J. Phys. D.: Appl. Phys. 1996. Vol. 29. P. 1168--1174
  8. Эндер А.Я., Эндер И.А., Герасименко А.Б. // ЖТФ. 2013. Т. 83. Вып. 7. С. 6-15
  9. Mason E.A., McDaniel E.W. Transport Properties of Ions in Gases. NY: Wiley, 1988. 489 p
  10. Dujko S., White R.D., Petrovic Z.Lj., Robson R.E. // Phys. Rev. E. 2010. Vol. 81. P. 046403
  11. Kumar K. // Ann. Phys. 1966. Vol. 37. P. 113-141
  12. Kumar K., Skullerud H.R., Robson R.E. // Aust. J. Phys. 1980. Vol. 33. P. 343-406
  13. Viehland L.A. // Int. J. Ion Mobil. Spec. 2011. Vol. 15. P. 21-29
  14. Viehland L.A., Siems W.F. // J. Am. Soc. Mass. Spectrom. 2012. Vol. 11. N 23. P. 1841-1854
  15. Li B., Robson R.E., White R.D. // Phys. Rev. E. 2006. Vol. 74. P. 026405
  16. White R.D., Ness K.F., Robson R.E., Li B. // Phys. Rev. E. 1999. Vol. 60. P. 2231-2249
  17. White R.D., Ness K.F., Robson R.E. // App. Surf. Sci. 2002. Vol. 192. P. 26-49
  18. Эндер А.Я., Эндер И.А. Интеграл столкновений уравнения Больцмана и моментный метод. СПб.: СПбГУ, 2003. 224 c
  19. Ender A.Ya., Ender I.A. // Phys. Fluids. 1999. Vol. 11. P. 2720-2730
  20. Эндер А.Я., Эндер И.А. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 2. С. 8-17
  21. Эндер А.Я., Эндер И.А., Герасименко А.Б. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 2. С. 18-28
  22. Ender A.Y., Ender I.A., Gerasimenko A.B. // The Open Plasma Phys. J. 2009. Vol. 2. P. 24-62
  23. Ender A.Ya., Ender I.A. // Transport Theor. Stat. 2007. Vol. 56. P. 563-588

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme