Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Влияние бомбардировки ионов O2+ на состав и структуру TiN
1Институт ионно-плазменных и лазерных технологий АН Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан 
Email: isakhanov@aie.uz
Поступила в редакцию: 23 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 20 января 2015 г.
B работе показано, что имплантация ионов О2+ при низких энергиях (E0≤2-3 keV) и высоких дозах (D≥1016 cm-2) приводит к существенному изменению состава и аморфизации приповерхностных слоев ТiN. Постимплантационный отжиг при T~950-1000 K в течение 30 min приводит к формированию поликристаллической пленки с примерным составом ТiN0.6О0.4. Анализ фотоэлектронных спектров дает возможность предположить, что пленки ТiN и ТiN0.6О0.4 являются узкозонными вырожденными полупроводниками n-типа.
- Данилин Б.С. // Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989. 326 с
- Решетняк Е.Н., Стрельницкий В.Е. // Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 2008. N 2. С. 119-130
- Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Шевейко А.Н., Левашов Е.А., Штанский Д.В. // Вопросы материаловедения. 2008. N 2 (54). C. 187-201
- Локтев Д., Ямашкин Е. // Наноиндустрия. 2007. N 5. С. 24-30
- Пинаев В.В., Шаповалов В.И. // Изв. Государственного электротехнического ун-та. 2008. Вып. 10. С. 11-15
- Blasco N., Dussarrat Ch. Method of forming high-k dielectric films based on novel titanium, zirconium, and hafnium precursors and their use for semiconductor manufacturing (патент US N 8399056)
- Левашов Е.А., Штанский Д.В. // Информация и инновации. 2007. N 1. C. 63-64
- Huang N., Yang P., Leng Y.X. et al. // Biomaterials. 2003. N 24. P. 2177-2187
- Lin Z., Lee I.S., Choi Y.J. et al. // Biomed. Mater. 2009. N 4. P. 110 004
- Бойченко М.К., Булыгина Е.В., Быков Ю.А. и др. // Харьковская научная ассамблея. 2003. С. 144-147
- Панькин Н.А., Смоланов Н.А. Матер. Междун. конф. ВИП-2005. Россия, Звенигород. Т. 2. С. 395-397
- Белый А.В. // Поверхность. Физика. Химия. Механика. 1989. N 10. С. 128-133
- Тушинский Л.И., Плохов A.B. // Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий. Новосибирск: Наука, 1986. 197 с
- Углов В.В., Приходько Ж.Л., Ходасевич В.В. и др. // Физика и химия обработки материалов. 2003. N 5. С. 48-52
- Алиев А.А., Исаханов З.А., Мухтаров З.Э., Рузибаева М.К. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 1. С. 110-116
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
