Исследование состава неконтролируемых примесей, их химических состояний и профиля распределения на границе рездела Al-Si
Абдувайитов А.А.1, Болтаев Х.Х.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: xurshid@pochta.ru
Поступила в редакцию: 8 августа 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.
Методом оже-электронной спектроскопии и вторичной ионной масс-спектроскопии были исследованы композиции атомов неконтролируемых примесей и их химический состав, а также профили распределения атомов на границе Al-Si. В Al обнаружены примесные атомы C, O, N, Ti, Fe и др. в низких концентрациях (<0.1%). Анализ химических сдвигов оже-пиков атомов металлов показал, что на границе системы Аl-Si формируются соединения типа АlO и Al2O3.
- Росадо Л. Физическая электроника и микроэлектроника. М.: Высшая школа, 1987. 106 c
- Алиев А.А., Абдувайитов А.А. // Узбекский физический журнал. 2007. N 6. С. 263--269
- Isakhanov Z.A., Mukhtarov Z.E., Umirzakov B.E., Ruzibayeva M.K. // Techn. Phys. 2011. Vol. 56. N 4. P. 546--549
- Алиев А.А., Хазратов Ф.Х. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2003. N 9. С. 79
- Крылов П.Н., Кривелевич С.А., Ускова Е.А. // Химическая физика и мезоскопия. 2011. Т. 13. N 2. С. 238--244
- Крылов П.Н., Федотова И.В. // Химическая физика и мезоскопия. 2009. Т. 11. N 3. С. 361--373
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
