Вышедшие номера
Создание устойчивых зарядовых областей в массиве Ge-нанокристаллитов внутри SiO2 с помощью электростатической силовой микроскопии
Дунаевский М.С., Алексеев П.А., Дементьев П.А., Гущина Е.В., Берковиц В.Л., Lahderanta E., Титков А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 10 июня 2014 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2015 г.

Исследованы Ge-нанокристаллиты, получаемые внутри SiO2 методом ионной имплантации с последующим высокотемпературным отжигом. С помощью сканирующей зондовой микроскопии выполнена локальная зарядка Ge-нанокристаллитов, находящихся внутри тонкого (30 nm) термического окисла SiO2, с последующей визуализацией и анализом получаемых зарядовых областей. Показана возможность создания под зондом атомно-силового микроскопа устойчивых во времени зарядовых областей диаметром до 30 nm, состоящих из нескольких заряженных Ge-нанокристаллитов. Кроме того, показано, что способность слоя Ge-нанокристаллитов удерживать внесенный заряд оказывается чрезвычайно чувствительной к расстоянию между соседними Ge-нанокристаллитами и наличию дефектных центров в SiO2. Последнее обстоятельство объясняется тем, что уход зарядов из Ge-нанокристаллитов происходит либо путем туннелирования между соседними нанокристаллитами, либо путем туннелирования через дефектные центры в SiO2.