Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2015, выпуск 5 » Статья стр. 71
<<<>>>
Термодинамика зародышеобразования карбида кремния в процессе карбонизации нанопористого кремния
Нагорнов Ю.С.1
1Тольяттинский государственный университет, Тольятти, Россия
Email: Nagornov.Yuri@gmail.com
Поступила в редакцию: 30 сентября 2014 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2015 г.
PDF версия
Для описания динамики формирования нанокристаллов 3C-SiC в процессе карбонизации нанопористого кремния предложена теория зародышеобразования. Как показали численные расчеты методом Монте-Карло, в первые секунды карбонизации в квантовых нитях кремния формируются нанокристаллы 3C-SiC сферической формы, что совпадает с начальным моментом оплывания стенок пор. Проведен термодинамический расчет энергетического барьера зародышеобразования карбида кремния и показано, что барьер преодолевается за счет изменения площади стенок пор и соответственно освобождения поверхностной энергии. Предложенная теория описывает необходимые условия формирования нанокристаллов 3C-SiC и объясняет, почему в монокристаллическом кремнии не происходит их формирования.
  1. Болотов В.В., Росликов В.Е., Курдюкова Е.А. и др. // ФТП. 2012. Т. 46. N 1. С. 109-112
  2. Жарова Ю.А., Федулова Г.В., Астрова Е.В. и др. // ФТП. 2011. Т. 45. N 8. С. 1136-1143
  3. Кукушкин С.А., Осипов А.В. // ФТТ. 2008. Т. 50. Вып. 7. С. 1188-1195
  4. Zenga Y., Chena X., Chenga Q. et al. // Appl. Surf. Science. 2013. Vol. 265. N 15. P. 286-290
  5. Нагорнов Ю.С., Костишко Б.М., Миков С.Н. и др. // ЖTФ. 2007. Т. 77. N 8. С. 135-139
  6. Костишко Б.М., Золотов А.В., Нагорнов Ю.С. // Тезисы Второй Российской школы ученых и молодых специалистов по материаловедению и технологиям получения легированных кристаллов кремния ("Кремний. Школа --- 2001"). Москва, Черноголовка, 2001. С. 50-51
  7. Костишко Б.М., Атажанов Ш.Р., Пузов И.П., Саломатин С.Я., Нагорнов Ю.С. // Письма в ЖТФ. 2000. N 5. C. 42-48
  8. Нагорнов Ю.С., Золотов А.В., Костишко Б.М., Светухин В.В. // Труды X Mеждународной конференции "Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы". Ульяновск: УлГУ, 2008. C. 128
  9. Атажанов Ш.Р., Комов А.Н., Чепурнов В.И., Лосевская С.Г. // Полупроводниковый карбид кремния и приборы на его основе. Международный семинар: тез. докл. Новгород, 1995. С. 25-26.
  10. Islamgaliev R.K., Kuzel R., Mikov S.N. et al. // Materials Science \& Engeneering. A. 1999. Vol. 266. P. 2005-2010
  11. Hofmann M., Zywietz A., Karch K. et al. // Phys. Rev. B. 1994. V. 50. N 18. P. 13 401-13 411
  12. Kersulis S., Mitin V. // Semicond. Sci. Technol. 1995. Vol. 10. P. 653-659
  13. Зверев А.В., Неизвестный И.Г., Шварц Н.Л., Яновицкая З.Ш. // Физика и техника полупроводников. 2001. Т. 35. N 9. С. 1067-1074
  14. Ott N., Nerding M. et al. // Phys. Stat. Sol. (a). 2003. N 1. P. 93-97
  15. Нагорнов Ю.С., Мельников Б.Ф., Золотов А.В. // Вектор науки Тольяттинского государственного университета. 2012. N 4 (22). С. 89-93
  16. Костишко Б.М., Золотов А.В., Нагорнов Ю.С. // ФTП. 2009. Т. 43. N 3. С. 372-375
  17. Золотов А.В. Диссертация на соискание степени канд. физ.-мат. наук по специальности 01.04.10 --- физика п/п. Ульяновск: УлГУ, 2007, 139 с
  18. Pinacho R., Castrillo P., Jaraiz M. et al. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 92. N 3. P. 1582-1587
  19. Cowern N.E.B., Colombeau B., Roozeboom F. et al. // Materials Research Society Proceedings. 2002. Vol. 717. C5.10 doi:10.1557/PROC-717-C5.10
  20. Двуреченский А.В., Зиновьев В.А., Марков В.А. // ЖЭТФ. 1998. Т. 114. N 12. С. 2055-2060
  21. Wang J., Zhang K., Xie X. // J. Phys.: Condens. Matter. 1994. N 6. P. 989-996
  22. Jaccodine R.J. // J. Electrochem. Soc. 1963. 110(6). P. 524-527
  23. Вест А.Р. Химия твердого тела. Теория и приложения. В двух частях. Ч. 1. М.: Мир, 1988. 558 с
  24. Химия твердого тела: учебное пособие для студентов вузов / Под ред. А.В. Кнотько и др. М.: Издательский центр "Академия". 2006. 304 с
  25. Справочник по электротехническим материалам в трех томах. Том 3 / Под редакцией Ю.В. Корицкого и др. Л.: Энергоатомиздат, 1988. 728 с
  26. Oshcherin B.N. // Phys. Stat. sol. a. 1976. Vol. 34. K181
  27. Abavare E.K.K., Iwata J.-I., Yaya A., Oshiyama A. // Phys. stat. sol. (b). 2014. DOI: 10.1002/pssb.201350335
  28. Tang M., Yip S. // Phys. Rev. B.1995. Vol. 52. P. 15 150--15 159
  29. Takai T., Halicioglu T., Tiller W. A. // Surf. Sci. 1985. Vol. 164. N 2-3. P. 341-352
  30. Wang J., Zhang L., Zeng Q. et al. // Phys. Rev. B. 2009. V. 79. P. 125 304-125 318
  31. Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. 1991. М.: Энергоатомиздат, 1232 с.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme