С использованием методов сканирующих атомно-силовой и электронной микроскопии изучена кинетика самоорганизации наноразмерных доменов при осаждении субмонослойных углеродных покрытий на кремнии (100) в СВЧ плазме паров этанола низкого давления. Установлены закономерности влияния температуры подложки и кинетической энергии углеродосодержащих ионов на механизм формирования и структурирования образующихся кремний-углеродных поверхностных фаз. Показано, что полученные наноразмерные углеродсодержащие домены могут быть использованы в качестве нелитографических масковых покрытий для получения с использованием селективного высокоанизoтропного плазмохимического травления пространственных низкоразмерных систем на монокристаллическом кремнии.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.