Роль эффекта перераспределения электрического поля в изменении характеристик открытых "сандвич"-структур металл-диэлектрик-металл под воздействием влаги
Мордвинцев В.М.1, Левин В.Л.1, Кудрявцев С.Е.1, Цветкова Л.А.1
1Ярославский филиал Физико-технологического института РАН, Ярославль, Россия
Email: Mordvintsev-Viktor@yandex.ru
Поступила в редакцию: 20 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2015 г.
Приведены результаты численного моделирования эффекта перераспределения электрического поля в изолирующей щели открытой "сандвич"-структуры металл-диэлектрик-металл TiN-SiO2-W при образовании на свободном торце диэлектрической пленки слоя с повышенной диэлектрической проницаемостью из-за поглощения влаги пористым диоксидом кремния, полученным плазмохимическим осаждением. Показано, что эффектом перераспределения электрического поля можно объяснить все наблюдающиеся экспериментально изменения электрических характеристик, вызванные воздействием влаги.
- Валиев К.А., Левин В.Л., Мордвинцев В.М. // ЖТФ. 1997. Т. 67. Вып. 11. С. 39--44
- Мордвинцев В.М., Кудрявцев С.Е., Левин В.Л. // Российские нанотехнологии 2009. Т. 4. N 1--12. С. 174--182
- Мордвинцев В.М., Кудрявцев С.Е., Левин В.Л. // Российские нанотехнологии 2009. Т. 4. N 1--2. С. 183--191
- Мордвинцев В.М., Шумилова Т.К. // Микроэлектроника. 1999. Т. 28. N 2. С. 122--133
- Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
- http://elcut.ru
- Hashin Z., Shtrikman S. // J. Appl. Phys. 1962. Vol. 33. P. 3125--3131
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
