Вышедшие номера
Физические свойства пленок углерода, полученных при пиролизе метана в электрическом поле
Брантов С.К., Терещенко А.Н., Штейнман Э.А., Якимов Е.Б.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: brantov@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 23 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2016 г.

Описан способ синтеза углеродных пленок при пиролизе метана в электрическом поле на монокристаллических подложках кремния. Выполнены расчеты развиваемых давления и температуры при бомбардировании подложки ионами углерода C-4 в процессе пиролиза, в результате чего возникают центры образования зародышей в форме волокон диаметром ~2 mum для роста кристаллической пленки. Проведено исследование полученного материала методами электронной микроскопии, а также фото- и катодолюминесценции. Показано, что синтезированные пленки представляют собой композиционный материал, в углеродной матрице которого содержатся наноразмерные кластеры иной кристаллической природы. Обнаружен эффект 2-х стадийного значительного снижения электрического сопротивления материала пленок при увеличении их температуры от 300 до 1750 K, что является проявлением полупроводниковых свойств углерода в достаточно массивных его образцах.