Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2016, выпуск 5 » Статья стр. 51
<<<>>>
Осаждение кремний-углеродных покрытий из плазмы несамостоятельного дугового разряда с накальным катодом
Гренадеров А.С., Оскомов К.В., Соловьев А.А., Работкин С.В.1
1Институт сильноточной электроники СО РАН, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 2 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.
PDF версия
Гидрогенизированный аморфный углерод, легированный оксидом кремния (a-C:H:Si:O), используемый нами термин - кремний-углеродные покрытия, представляет собой тонкие аморфные пленки, применяемые в качестве твердых смазочных материалов для промышленного применения благодаря повышенной стабильности в экстремальных условиях окружающей среды по сравнению с аморфным гидрогенизированным углеродом. В настоящей работе рассматривается нанесение кремний-углеродных покрытий, осаждаемых из плазмы дугового несамостоятельного разряда с накальным катодом. Кремний-углеродные покрытия осаждались с использованием прекурсора полифенилметилсилоксана при расходе 0.05 ml/min в среде аргона при давлении 0.1 Pa. Высокочастотный (ВЧ) источник питания использовался для подачи ВЧ-напряжения смещения на подложку во время осаждения. После осаждения исследовались механические свойства покрытия. Максимальная твердость покрытия составила 20 GPa при минимальном коэффициенте трения 0.16 и степени износа 1.3·10-5 mm3N-1m-1. Энергодисперсионный анализ показал, что в покрытии содержится существенная часть углерода и кислорода (около 80% и 15% соответственно) и незначительная часть кремния (около 5%).
  1. Цыганов Д.Л. // Отчет по заданию МО РБ N 02/205. 2002. С. 59
  2. Prasad S.V., Dugger M.T., Christenson T.R., Tallant D.R. // J. Manuf. Process. 2004. Vol. 6. P. 107--116
  3. Sullivan J.P., Friedmann T.A., Baca A.G. // J. Electron. Mater. 1997. Vol. 26. P. 1021--1029
  4. Neerinck D., Persoone P., SercuM., Goel A., Venkatraman C., Kester D., HalterC., Swab P., Bray D. // Thin Solid Films. 1998. Vol. 317. P. 402--404
  5. Оскомов К.В., Сочугов Н.С., Соловьев А.А., Работкин С.В. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. Вып. 19. С. 20--29
  6. Оскомов К.В., Соловьев А.А., Работкин С.В. // ЖТФ. 2014. Т. 59. Вып. 12. С. 73--76
  7. He H., Li W., Li H. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1996. Vol. 14. P. 2039--2047
  8. Sun Z., Shi X., Liu E. // Thin Solid Films. 1999. Vol. 355--356. P. 146--150
  9. Hatada R., Flege S., Bobrich A., Ensinger W., Baba K. // Surf. Coat. Technol. 2014. Vol. 256. P. 23--29
  10. Bugaev S.P., Oskomov K.V., Podkovyrov V.G., Sochugov N.S., Smajkina S.V. // Surf. Coat. Technol. 2000. Vol. 135. P. 18--26
  11. Sanchez-Lopez J.C., Fernandez A. // Tribology of Diamond-Like Carbon Films. Springer, 2008. P. 311--338
  12. Tripathi R.K., Panwar O.S., Srivastava A.K., Rawal I., Chockalingam S. // Talanta. 2014. Vol. 125. P. 276--283
  13. Panwar O.S. // Surf. Coat. Technol. 2010. Vol. 205. P. 2126--2133
  14. Neerinck D. // Diam. Relat. Mater. 1998. Vol. 7. P. 468--471
  15. Mangolini F., Rose F., Hilbert J., Carpick R.W. // Appl. Phys. Lett. 2013. Vol. 103. P. 161 605
  16. Meskinis S., Tamuleviciene A.// Mater. Sci. 2011. Vol. 17. N 4. P. 358--370
  17. Randeniya L.K., Bendavid A, Martin P.J., Amin M.S., Rohanizadeh R., Tang F., Cairney J.M. // Diam. Relat. Mater. 2010. Vol. 19. P. 329--335
  18. Scharf T.W., Singer I.L. // Thin Solid Films. 2003. Vol. 440. P. 138--144
  19. Baek S., Shirafuji T., Saito N. // Thin Solid Films. 2011. Vol. 519. P. 6678--6682
  20. Randeniya L.K., Bendavid A., Martin P.J., Amin Md.S., Preston E.W. // Acta Biomater. 2009. Vol. 5. P. 1791--1797
  21. Zajickova L., Bursikova V., Perina V., Mackova A., Janca J. // Surf. Coat. Technol. 2003. Vol. 174--175. P. 281--285
  22. Toth A., Mohai M., Ujvari T., Bertoti I. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 482. P. 188--191
  23. Santra T.S., Liu C.H., Bhattacharyya T.K., Patel P., Barik T.K. // J. Appl. Phys. 2010. Vol. 107. P. 124 320
  24. Santra T.S., Liu C.H., Bhattacharyya T.K., Patel P., Barik T.K., Tseng F.G. // Surf. Coat. Technol. 2011. Vol. 206. P. 228--233
  25. Baba K., Hatada R., Flege S., Ensinger W. // Appl. Surf. Sci. 2014. Vol. 310. P. 262--265
  26. Божко А.Д., Шупегин М.Л. // Тр. XI Межнац. совещания Радиационная физика твердого тела" / Под ред. Г.Г. Бондаренко. Севастополь, 2001. С. 377
  27. Oliver W., Pharr J. // J. Mater. Res. 1992. Vol. 7. P. 1564--1572
  28. Соловьев А.А., Сочугов Н.С., Оскомов К.В. // Физика металлов и металловедение. 2010. Т. 109. Вып. 2. С. 120--129
  29. McKenzie D.R., Tarrant R.N., Bilek M.M.M., Pearce G., Marks N.A., McCulloch D.G., Lim S.H.N. // Nucl. Instrum. Meth. B. 2003. Vol. 206. P. 741--744
  30. Bilek M.M.M., Verdon M., Ryves L., Oates T.W.H., Ha C.T., McKenzieD.R. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 482. P. 69--73
  31. Рудаков В.И., Богоявленская Е.А., Денисенко Ю.И., Наумов В.В. // Микроэлектроника. 2011. Т. 40. Вып. 6. С. 418--423
  32. Bewilogua K., Bialuch I., Ruske H., Weigel K. // Surf. Coat. Technol. 2011. Vol. 206. P. 623--629
  33. Venkatraman C., Goel A., Lei R., Kester D., Outten C. // Thin Solid Films 1997. Vol. 308--309. P. 173--177
  34. FerrariA.C., Robertson J. // Phil. Trans. R. Soc. Lond. A. 2004. Vol. 362. P. 2477--2512
  35. Kester D.J., Brodbeck C.L., Singer I.L., Kyriakopoulos A. // Surf. Coat. Technol. 1999. Vol. 113. P. 268--273

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme