Вышедшие номера
Влияние давления рабочего газа на магнитные свойства и текстуру поликристаллических пленок Fe/SiO2/Si(100), полученных магнетронным распылением
РФФИ, 16-37-60052
Никулин Ю.В1,2, Джумалиев А.С.1,2, Филимонов Ю.А.2,1,3
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
2Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
3Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А., Саратов, Россия
Email: yvnikulin@gmail.com, dzhas@yandex.ru
Поступила в редакцию: 24 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.

Исследованы магнитные свойства и текстура поликристаллических пленок Fe/SiO2/Si(100) толщиной 90 nm, полученных магнетронным распылением при различном давлении рабочего газа. Показано, что снижение давления может приводить к росту намагниченности пленок на 50% и уменьшению ширины линии ферромагнитного резонанса и поля коэрцитивности более чем на порядок. Указанные изменения магнитных свойств отражают смену текстуры пленок с Fe(110) на Fe(200) и переход от столбчатой микроструктуры к квазиоднородной.