Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Создание наноструктурированной поверхности кремния методом селективного химического травления
1Казахский национальный университет им. Аль-Фараби, Алматы, Казахстан 
2Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа (ННЛОТ), Казахский национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Казахстан
2Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа (ННЛОТ), Казахский национальный университет им. аль-Фараби, Алматы, Казахстан
Email: zh.kalkozova@mail.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2017 г.
Методом селективного химического травления, инициированного металлическими нанокластерами, в двухэтапном процессе получены наноструктурированные поверхности кремниевых пластин с низким коэффициентом отражения. На кремниевых подложках, покрытых нанокластерами серебра, эффект усиленного поверхностью рамановского рассеяния наблюдался до концентраций радомина ~10-12 М. Зависимость глубины наноструктурированного слоя от условий проведения двухэтапного процесса травления, в частности от длительности травления, является весьма слабой при определенных технологических параметрах. При прочих равных условиях проведения процесса травления в кремнии p-типа проводимости скорость образования текстурированного слоя в два раза выше, чем в кремнии n-типа.
- Liu X., Coxon P.R., Peters M. et al. // Energy Environ. Sci. 2014. Vol. 7. P. 3223--3263
- Wang H.P., Lin T.Y., Hsu C.W. et al. // ACS Nano. 2013. Vol. 7. N 10. P. 9325--9335
- Savin H., Repo P., Gastrow G. et al. // Nature Nanotech. 2015. Vol. 10. P. 624--628
- Creazzo T., Redding B., Marchena E. et al. // Opt. Express. 2010. Vol. 18. N 11. P. 10924--10930
- Ivanova E.P., Hasan J. et al. // Nat Commun. 2013. Vol. 4. P. 2838
- Deng Y.L., Juang Y.J. // Biosens. Bioelectron. 2014. Vol. 53. P. 37--42
- Peng K., Wu Y., Fang H. et al. // Angew. Chem. Int. Edit. 2005. Vol. 44. P. 2797--2802
- Peng K.Q., Hu J.J., Yan Y.J. et al. // Adv. Funct. Mater. 2006. Vol. 16. P. 387--394
- Gonchar K.A., Osminkina L.A., Galkin R.A., Gongalsky M.B., Marshov V.S., Timoshenko V.Yu., Kulmas M.N., Solovyev V.V., Kudryavtsev A.A., Sivakov V.A. // J. Nanoelectron. Opt. 2012. Vol. 7. N 6. P. 602--606
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
