Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2018, выпуск 4 » Статья стр. 621
<<<>>>
Модификация кобальтом тонких пленок рутила при магнетронном распылении и вакуумном отжиге
DOI: 10.21883/JTF.2018.04.45734.2436
Переводная версия: 10.1134/S1063784218040023
Афонин Н.Н. 1, Логачева В.А. 2
1Воронежский государственный педагогический университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: nafonin@vspu.ac.ru, kcmf@vsu.ru
Поступила в редакцию: 13 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.
PDF версия
Методами рентгенофазового анализа, атомно-силовой микроскопии и вторично-ионной спектрометрии исследовано фазообразование и перераспределение компонентов в пленочной системе Co-TiO2 при магнетронном распылении металла на оксид и в ходе последующего вакуумного отжига. Установлена глубокая диффузия кобальта в оксид титана и образование сложных оксидов состава: CoTi2O5 и CoTiO3. Предложен механизм их формирования на границах зерен по всей толщине пленки TiO2, предполагающий реакционную диффузию кобальта по межзеренным границам оксида. Разработана количественная модель реакционной взаимодиффузии в двухслойных пленочных поликристаллических системах металл-оксид с ограниченной растворимостью компонентов. Определены значения индивидуальных коэффициентов диффузии кобальта и титана в диапазоне температур 923-1073 K. DOI: 10.21883/JTF.2018.04.45734.2436
  1. Park W.K., Ortega-Hertogs R.J., Moodera J.S. et al. // J. Appl. Phys. 2002. Vol. 91. N 10. P. 8093. doi: 10.1063/1.1452650
  2. Chambers S.A., Droubay T., Wang C.M. et al. // Appl. Phys. Lett. 2003. Vol. 82. N 8. P. 1257--1258. doi: 10.1063/1.1556173
  3. Punnoose A., Seehra M.S., Park W.K. et al. // J. Appl. Phys. 2003. Vol. 93. N 10. P. 7867--7869. doi: 10.1063/1.1556121
  4. Kim D.H., Yang J.S., Lee K.W. et al. // Appl. Phys. Lett. 2002. Vol. 81. N 13. P. 2421. doi: 10.1063/1.1509477
  5. Pan J.S., Chai J.W., Wang S.J. et al. // International J. Mod. Phys. B. 2008. Vol. 22. N 1--2. P. 63--69
  6. Akdogan N., Nefedov A., Zabel H. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2009. Vol. 42. N 11. Article number 115005. doi: 10.1088/0022-3727/42/11/115005
  7. Hu W., Hayashi K., Fukumura T. et al. // Appl. Phys. Lett. 2015. Vol. 106. N 22. Article number 222403. http://doi.org/10.1063/1.4921847
  8. Chai J.W., Pan J.S., Wang S.J. et al. // Surf. Sci. 2005. Vol. 589. N 1--3. P. 32--41
  9. Fleischhammer M., Panthofer M., Tremel W. // J. Sol. Stat. Chem. 2009. Vol. 182. N 4. P. 942--947. https://doi.org/10.1016/j.jssc.2009.01.011
  10. Ачкеев А.А., Хайбуллин Р.И., Тагиров Л.Р. и др. // ФТТ. 2011. Т. 53. Вып. 3. С. 508--517
  11. Sasaki J., Peterson N.L., Hoshino K. // J. Phys. and Chem. of Sol. 1985. Vol. 46. N 11. P. 1267--1283. https://doi.org/10.1016/0022-3697(85)90129-5
  12. Joshi Shalik Ram, Padmanabhan B., Chanda Anupama et al. // Appl. Surf. Sci. 2016. Vol. 387. P. 938--943. http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2016.07.038
  13. JCPDS --- International Centre for Diffraction Data, 2012
  14. Parna R., Joosta U., Nommiste E. et al. // Appl. Surf. Sci. 2011. Vol. 257. N 15. P. 6897--6907
  15. Samet L., Ben Nasseur J., Chtourou R. et al. // Materials Characterization. 2013. Vol. 85. P. 1--12. https://doi.org/10.1016/j.matchar.2013.08.007
  16. Chambers S.A., Thevuthasan S., Farrow R.F.C. et al. // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 79. P. 3467--3469. http://doi.org/10.1063/1.1420434
  17. Matsumoto Y., Murakami M., Shono T. et al. // Science. 2001. Vol. 291. P. 854--856. doi: 10.1126/science.1056186
  18. Fa-Min Liua, Peng Dinga, Xin-An Yangb, Jian-Qi Lib // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2009. Vol. 267. N 18. P. 3104--3108. http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2009.06.030
  19. Yi ldi rma O., Cornelius S., Smekhova A. et al. // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2016. Vol. 389--390. P. 13. http://dx.doi.org/10.1016/j.nimb.2016.11.009
  20. Smigelskas A.D., Kirkendall E.O. // Trans. AIME. 1947. Vol. 171. P. 130--142
  21. Darken L.S. // Trans. AMIE. 1948. Vol. 175. P. 184--190
  22. Самарский А.А. Теория разностных схем. М.: Наука, 1977. 656 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme