Вышедшие номера
Модификация кобальтом тонких пленок рутила при магнетронном распылении и вакуумном отжиге
Переводная версия: 10.1134/S1063784218040023
Афонин Н.Н. 1, Логачева В.А. 2
1Воронежский государственный педагогический университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: nafonin@vspu.ac.ru, kcmf@vsu.ru
Поступила в редакцию: 13 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2018 г.

Методами рентгенофазового анализа, атомно-силовой микроскопии и вторично-ионной спектрометрии исследовано фазообразование и перераспределение компонентов в пленочной системе Co-TiO2 при магнетронном распылении металла на оксид и в ходе последующего вакуумного отжига. Установлена глубокая диффузия кобальта в оксид титана и образование сложных оксидов состава: CoTi2O5 и CoTiO3. Предложен механизм их формирования на границах зерен по всей толщине пленки TiO2, предполагающий реакционную диффузию кобальта по межзеренным границам оксида. Разработана количественная модель реакционной взаимодиффузии в двухслойных пленочных поликристаллических системах металл-оксид с ограниченной растворимостью компонентов. Определены значения индивидуальных коэффициентов диффузии кобальта и титана в диапазоне температур 923-1073 K. DOI: 10.21883/JTF.2018.04.45734.2436