Исследование оптического Mo/Mo нанокристаллического покрытия, полученного напылением с одновременным ионным распылением
Рогов А.В.1,2, Мартыненко Ю.В.1,3, Капустин Ю.В.1,2, Фанченко С.С.1, Белова Н.Е.1
1Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
2Координационный центр "Управляемый термоядерный синтез --- международные проекты", Москва, Россия
3Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: alex-rogov@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2018 г.
Представлены результаты исследования структуры, оптических свойств и стойкости к распылению отражающего Mo-покрытия, полученного методом магнетронного напылении с одновременным низкоэнергетическим ионным распылением в режиме превышения скорости напыления над скоростью травления. В качестве подложки использовалось Mo-поликристаллическое зеркало. Показано, что покрытие, сформированное в таких условиях, имеет текстурированную нанокристаллическую структуру с малым разбросом размеров кристаллитов и обладает высокой устойчивостью к распылению. Выявлено, что спектральный коэффициент отражения такого Mo-покрытия отличается от спектрального коэффициента отражения поликристаллического и монокристаллического Mo, а наблюдаемое отличие обусловлено влиянием структуры покрытия на его оптические свойства. Предложена теоретическая модель процесса формирования покрытия.
- Orlinski D.V., Voitsenya V.S., Vukolov K.Yu. // Plasma Devices and Operations. 2007. Vol. 15. N 1. P. 33--75
- Miyamoto M., Takaoka H., Ono K. et al. // J. Nucl. Mater. 2014. Vol. 455. P. 297--300
- Voitsenya V.S., Bardomid A.F., Belyaeva A.I. et al. // Nukleonika. 2012. Vol. 57. N 2. P. 157--162
- Orlovskiy I., Alekseev A., Andreenko E. et al. // 29th Symp. on Fusion Technol. Prague. 2016
- Orlovskiy I., Alekseev A., Andreenko E. et al. // Fusion Engineer. Design. 2015. Vol. 96--97. P. 899--902
- Bardomid A.F., Belyaeva A.I., Bondarenko V.N. et al. // Phys. Scr. 2006. Vol. 123. P. 89--93
- Рогов А.В., Вуколов К.Ю. // ЖТФ. 2006. Т. 76. Вып. 4. С. 109--112
- Eren B., Marot L., Litnovsky A. et al. // Fusion Engineer. Design. 2011. N 86. P. 2593--2596
- Рогов А.В., Вуколов К.Ю., Горшков Ф.В., Гуреев В.М. // ВАНТ. Серия: Термоядерный синтез, 2005. N 2. C. 39--54
- Рогов А.В., Капустин Ю.В. // Успехи прикладной физики. 2016. Т. 4. N 3. С. 240--246
- Носкова Н.И., Мулюков Р.Р. Субмикрокристаллические и нанокристаллические металлы и сплавы. Екатеринбург: УрО РАН, 2003. 279 с
- Рогов А.В., Лозован А.А. // Тр. XVIII Междунар. конф. "Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2007". Москва. 2007. Т. 3. С. 90--93
- Ranjan M., Kalathiparambil K.K., Vaghela N.P., Mukherjee S. // Plasma Processes and Polymers. 2007. N 7. P. 1030--1035
- Hindmarch A.T., Parkes D.E., Rushforth A.W. // Vacuum. 2012. Vol. 86. P. 1600--1604
- Krishnan R., Riley M., Lee S., Lu T.-M. // Thin Sol. Films. 2011. Vol. 519. P. 5429--5432
- Li W., Yan X., Aberle A.G., Venkataraj S. // Proc. Engineer. 2016. Vol. 139. P. 1--6
- Sheu H.-H., Yang C.-C., Liang S.-C. et al. // J. C.C.I.T. 2014. Vol. 43. N 2. P. 61--68
- Warren B.E. X-ray diffraction. NY.: Addison Wesley, 1968. P. 311, 312
- Рогов А.В., Нагель М.Ю., Мартыненко Ю.В. // ВАНТ. Серия: Термоядерный синтез. 2013. Т. 36. N 2. С. 19--24
- Кнаке О., Странский И.Н. // УФН. 1959. Т. 68. С. 261
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериш. Вып. 1. Физическое распыление одноэлементных твердых тел. М.: Мир, 1984. 336 с
- Гуревич М.М. Введение в фотометрию. Л.: Энергия, 1968. 244 с
- Вартанян Т.А., Ващенко Е.В. Введение в наноплазмонику. Уч. пособие. СПб.: НИУИТМО, 2012. 86 с
- Кириллова M.M., Номерованная Л.В., Носков М.М. // ЖЭТФ. 1971. Т. 60. N 6. С. 2252--2259
- Marsillac S., Barreau N., Khatri H. et al. // Phys. Stat. Sol. C. 2008. Vol. 5. N 5. P. 1244--1248
- Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.filmetrics.com/refractive-index-database/Mo/Molybdenum
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
