Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4 5
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние температуры отжига на микроструктуру и морфологию пленок TiN, синтезированных методом дуального магнетронного распыления

DOI: 10.21883/JTF.2018.08.46313.2234

Переводная версия: 10.1134/S1063784218080236

Зайцев С.В.¹, Ващилин В.С.¹, Прохоренков Д.С.¹, Лимаренко М.В.¹, Евтушенко Е.И.¹

¹Белгородский государственный технологический университет имени В.Г. Шухова, Белгород, Россия Belgorod State Technology University named after V.G. Shukhov, Belgorod, Russia

Belgorod State Technology University named after V.G. Shukhov, Belgorod, Russia

Email: sergey_za@mail.ru

Поступила в редакцию: 3 марта 2017 г.

Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Пленки TiN, синтезированные на подложках лейкосапфира методом дуального магнетронного распыления, подвергли последующему отжигу в вакууме при 600, 700, 800 и 900^oC в течение 2 min. Микроструктуру и морфологию пленок при различных температурах исследованы методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии. Установлено, что отжиг влияет на изменения в микроструктуре, текстуре, размере зерна и шероховатости пленок TiN.

Wang X.C., Chen X.M., Yang B.H. // Sol. Stat. Sci. 2012. Vol. 14. N 4. P. 435-439
Hongjian Guoa, Wenyuan Chen, Yu Shan, Wenzhen Wanga // Appl. Surf. Sci.: A. 2015. Vol. 357. P. 473-478
Arshi N., Lu J., Joo Y.K., Lee C.G., Yoon J.H., Ahmed F. // Mater. Chem. Phys. 2012. Vol. 134. N 2-3. P. 839-844
Liqiang Zhang, Huisheng Yang, Xiaolu Pang, Kewei Gao // Surf. Coat. Technol. 2013. Vol. 224. P. 120-125
Lawand N.S., French P.J., Briaire J.J., Frijns J.H.M. // Proc. Engineer. 2012. Vol. 47. P. 726-729
Зайцев С.В., Колесник В.В., Ващилин В.С., Нарцев В.М., Прохоренков Д.С., Евтушенко Е.И. // Огнеупоры и техническая керамика. 2016. Т. 11-12. С. 22-25
Monshi A., Foroughi M.R., Monshi M.R. // World J. Nano Sci. Engineer. 2012. Vol. 2. P. 154-160
Vipin Chawla, Jayaganthan R., Ramesh Chandra // Bullet. Mater. Sci. 2009. Vol. 32. N 2. Р. 117-123
Chou W.-J., Yu G.-P., Huang J.-H. // Surf. Coat. Technol. 2003. Vol. 168. N 1. P. 43-50
Yingxue Xi, Huiqing Fan, Weiguo Liu // J. Alloys and Compounds. 2010. Vol. 496. N 1-2. P. 695-698
Matsue T., Hanabusa T., Ikeuchi Y. // Thin Sol. Film. 1996. Vol. 281-282. N 1-2. P. 344-347
Arslan E., Efeoglu I. // Materials Characterization. 2004. Vol. 53 Р. 29-34

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель