Вышедшие номера
Влияние температуры отжига на микроструктуру и морфологию пленок TiN, синтезированных методом дуального магнетронного распыления
Переводная версия: 10.1134/S1063784218080236
Зайцев С.В.1, Ващилин В.С.1, Прохоренков Д.С.1, Лимаренко М.В.1, Евтушенко Е.И.1
1Белгородский государственный технологический университет имени В.Г. Шухова, Белгород, Россия
Email: sergey_za@mail.ru
Поступила в редакцию: 3 марта 2017 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.

Пленки TiN, синтезированные на подложках лейкосапфира методом дуального магнетронного распыления, подвергли последующему отжигу в вакууме при 600, 700, 800 и 900oC в течение 2 min. Микроструктуру и морфологию пленок при различных температурах исследованы методами рентгеновской дифракции и сканирующей электронной микроскопии. Установлено, что отжиг влияет на изменения в микроструктуре, текстуре, размере зерна и шероховатости пленок TiN.