Расчет коэффициента самораспыления при бомбардировке твердого тела ионами: компьютерное моделирование и теория
Толмачев А.И.1, Форлано Л.2
1Российский новый университет, Москва, Россия
2Universita della Calabria, Cosenza, Italia
Email: tolmachev.alex@rambler.ru
Поступила в редакцию: 25 декабря 2017 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2018 г.
Создана программа компьютерного моделирования для исследования самораспыления твердых тел под действием ионной бомбардировки. Программа основана на приближении парных столкновений, усеченном кулоновском потенциале, и модели локальных неупругих потерь, пропорциональных энергии. В результате моделирования вычислен коэффициент самораспыления в зависимости от порядкового номера и энергии ионов. Для проверки корректности моделирования атомных каскадов построена теория самораспыления для потенциала твердых сфер. Получено хорошее согласие результатов компьютерного моделирования с экспериментом и теорией в широком диапазоне энергий.
- Борисов A.М., Машкова Е.С. Физические основы ионно-лучевых технологий. II. Распыление поверхности твердых тел. М.: МАКС Пресс, 2013. 196 с
- Behrish R., Eckstein W. (editors). Sputtering by Particle Bombardment. Berlin: Springer-Verlag, 2007. 470 p
- Eckstein W. Computer Simulation of Ion --- Solid Interactions. Berlin: Springer-Verlag, 1991. 296 p
- Ziegler J.F., Ziegler M.D., Biersack J.P. The Stopping and Range of Ions in Matter. Version SRIM-2013
- Толмачев А.И., Форлано Л. // ЖТФ. 2017. Т. 87. Вып. 7. С. 973-978
- Leibfried G., Oen O.S. // J. Appl. Phys. 1962. Vol. 33. N 7. P. 2257-2262
- Толмачев А.И. // Поверхность. 1992. Вып. 8. С. 27-29
- Толмачев А.И. // Поверхность. 1993. Вып. 12. С. 9-16
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. N 2. P. 383-416
- Sanders J.B., Roosendaal H.E. // Radiation Effects. 1980. Vol. 52. P. 137-144
- Falcone G. // La Rivista del Nuovo Cimento. 1990. Vol. 13. N 1. P. 1-52
- Tolmachev A.I. // Nuclear Instruments and Methods. 1993. Vol. B83. P. 479-481
- Tolmachev A.I. // Nuclear Instruments and Methods. 1994. Vol. B93. P. 415-420
- Барат А.А., Манухин В.В. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 2. С. 117-124
- Chandrasekhar S. Radiative Transfer. Oxford: Clarendon Press, 1950. 393 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.