Зондовый метод измерения коэффициента Бома, толщины зондового слоя объемного заряда и массы ионов
Машеров П.Е.1, Рябый В.А.1
1НИИ прикладной механики и электродинамики Московского авиационного института (национального исследовательского университета), Москва, Россия
Email: riaby2001@yahoo.com
Поступила в редакцию: 3 октября 2016 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.
Предложено измерять коэффициент Бома, толщину зондового слоя объемного заряда и массу ионов в максвелловской плазме низкого давления на основе результатов стандартных зондовых измерений, используя эффект Бома, закон Больцмана и "закон 3/2" в случае их справедливости для изучаемой плазмы. Реализация данной возможности была обеспечена аккуратной зондовой диагностикой высокочастотной ксеноновой плазмы индукционного разряда при давлении 2 mTorr. Анализ полученных результатов показал справедливость указанных законов и эффекта Бома с "инженерной" точностью, что позволило найти коэффициент Бома CBCyl~1.23 для цилиндрического зонда, составивший основу предложенного метода.
- Godyak V.A., Demidov V.I. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2011. Vol. 44. Р. 233001
- Электронный ресурс. Режим доступа: // VGPS Probe System. URL: http://www.plasmasensors.com
- Riaby V.A., Obukhov V.A., Masherov P.E. // High Voltage Engineering. 2012. Vol. 38. Suppl. P. 790--793
- Bohm D. Characteristics of Electrical Discharges in Magnetic Fields / Ed. by A. Guthrie, R.K. Wakerling. NY.--Toronto--London: McGraw-Hill Book Co., Inc., 1949. P. 1--49
- Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969. С. 20--21
- Masherov P.E., Riaby V.A., Godyak V.A. // Rev. Sci. Instrum. 2016. Vol. 87. Р. 2B926
- Godyak V. Inductive plasma source with high coupling efficiency. US Patent 8444870. Int. Cl. H01J 37/3211, C23F 1/00, 21 May 2013
- Godyak V.A. // Plasma Sources Sci. T. 2011. Vol. 20. Р. 025004
- Maшеров П.Е. // Вестник Московского авиационного института. 2016. T. 23. N 2. С. 42--49
- Рябый В.А., Машеров П.Е. // Изв. РАН. Энергетика. 2016. N 2. С. 45--57
- Piejak R.B., Godyak V.A., Garner R., Alexandrovich B.M. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 95. N 7. P. 3785--3791
- Masherov P.E., Riaby V.A. // Rev. Sci. Instrum. 2016. Vol. 87. Р. 086106
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
